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碳膜

纳米碳材料(金刚石、石墨烯、碳纳米管等)具有优异的电学性能,如高电子迁移率和高电流密度耐受性。它们还具备高热导率和机械强度,因此有望成为实现突破的未来电子器件材料。HORIBA 为纳米碳材料的膜厚测量与缺陷分析提供先进的测量技术。
 


膜厚与质量  |  应力分析  |  元素分析  |  异物检测/分析

薄膜厚度与质量

在通过微型化推进薄膜技术发展的过程中,我们提出了实现高精度薄膜沉积控制的解决方案,例如在薄膜沉积过程中进行原位评估,以及对埃米级薄膜的评估。


使用椭偏仪获取的薄膜信息

应力分析

我们提出了一种多方面的应力评估解决方案,采用具有高波数和空间分辨率的拉曼光谱仪,并结合阴极发光(CL)技术。

元素分析

异物检测/分析

晶圆缺陷也可能由异物引起,我们将介绍一种微观元素分析方法来识别缺陷成因。

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UVISEL PLUS椭圆偏振光谱仪
UVISEL PLUS椭圆偏振光谱仪

研究级经典型椭偏仪

R-CLUE
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拉曼光致荧光与阴极荧光

H-CLUE
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多功能高光谱阴极荧光

F-CLUE
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紧凑型高光谱阴极荧光

EMGA-Expert
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氧/氮/氢分析仪

EMGA-Pro
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氧/氮/氢分析仪

EMIA-Step
EMIA-Step

碳/硫分析仪

PD10
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光掩模颗粒检测系统

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