在通过微型化推进薄膜技术发展的过程中,我们提出了实现高精度薄膜沉积控制的解决方案,例如在薄膜沉积过程中进行原位评估,以及对埃米级薄膜的评估。
我们提出了一种多方面的应力评估解决方案,采用具有高波数和空间分辨率的拉曼光谱仪,并结合阴极发光(CL)技术。
晶圆缺陷也可能由异物引起,我们将介绍一种微观元素分析方法来识别缺陷成因。
如您有任何疑问,请在此留下详细需求信息,我们将竭诚为您服务。
研究级经典型椭偏仪
拉曼光致荧光与阴极荧光
多功能高光谱阴极荧光
紧凑型高光谱阴极荧光
氧/氮/氢分析仪
氧/氮/氢分析仪
碳/硫分析仪
光掩模颗粒检测系统