压差式质量流量控制器

结构

从进气口开始,该装置由外部颗粒保护过滤器、进气管路压力传感器、控制阀、一对压力传感器、流量电阻(节流器)和数字电路组成。气体通道不包含热源,并且由全金属材料制造而成,内部表面进行抛光,使其达到超洁净标准。

相关产品

D700MG
详情 D700MG

High Speed & Precision Pressure Insensitive Mass Flow Module

D700WR
详情 D700WR

Wide Range Pressure Insensitive Mass Flow Module

DZ-100
详情 DZ-100

紧凑型质量流量控制器

VG-200S
详情 VG-200S

Capacitance Manometer

XF-100 系列
详情 XF-100 系列

数字式液体质量流量计

PTFM-ONE-DT
详情 PTFM-ONE-DT

双路皮托管流量计