压差式质量流量控制器

结构

从进气口开始,该装置由外部颗粒保护过滤器、进气管路压力传感器、控制阀、一对压力传感器、流量电阻(节流器)和数字电路组成。气体通道不包含热源,并且由全金属材料制造而成,内部表面进行抛光,使其达到超洁净标准。

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