从进气口开始，该装置由外部颗粒保护过滤器、进气管路压力传感器、控制阀、一对压力传感器、流量电阻(节流器)和数字电路组成。气体通道不包含热源，并且由全金属材料制造而成，内部表面进行抛光，使其达到超洁净标准。
Micro Flow Pressure Insensitive Mass Flow Module
Best Performance Pressure Insensitive Mass Flow Module
高响应压力非敏感质量流量器
宽范围压敏质量流量计
紧凑型质量流量控制器
电容式压力计
压差式质量流量控制器
双路皮托管流量计
