D700WR

宽范围压敏质量流量计

D700WR 安装了一个新的节流器,专为大范围控制应用设计,基于 CRITERION™ 技术,具有高精度性能。D700WR 可将流量控制在全量程范围的 0.1%,帮助用户优化气体输送系统的灵活性。例如,如果系统安装了多个 MFC 用于高、低流量控制,用户可以减少 MFC 的数量,在同一位置使用另一个 MFC 用于不同的目的。

事业部: 半导体
产品分类: 流体控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.

请选择一个本产品可售卖的国家和区域:
中国,Germany,Ireland,Israel,Italy,Japan,Korea (South),Malaysia,Singapore,中国台湾,United Kingdom,United States
浏览完整列表 点击此处.

  • 0.1~100% 宽范围控制和高精度低流量 

    • 为流程优化提供灵活性

  • ≤ 500ms 递增响应

    • 提供高生产力和更大的过程性能

  • 零故障稳健的 CIP 压力传感器

    • 减少大批量生产的停机时间和人工成本

  • 10 倍更好的阀门关闭和耐腐蚀性的 PFA 喷嘴

    • 鲁棒性和较小的颗粒风险,减少停机时间和优化产量

  • 状态监控功能

    • 为更智能的故障预测提供更多的内部数据

状态监控功能的输出项

流量/压力调零计数

阀门驱动计数

记录最大/最小P0,P1,P2压力

最大/最小块温度记录

总时间超过/低于压力规格

总时间超过/低于温度规格

总工作时间

总控制时间

总流动时间(每个校准实例)

总流量(每个校准实例)

Go to External drawing

*1 请与我们联系有关支持的气体种类和发光率。
*2 在 25℃ 和 ≤1.0 × 10-3pa (A) 条件下的保证值。
*3 输出噪声包含在重复性中。
*4 设定时间为 MFC 输出信号,23℃ N2气。其他细节定义遵循“SEMI标准E17-1011章节4.1.4”的设定时间。
*5 压力扰动必须小于 20% 的压力变化/秒和 ±70 kPa/秒 (±10 PSI/秒)。
*6“(TYP.)”值是内部验证时具有代表性的能力值。
*7 PFA 指聚 [四氟乙烯-共全氟,(烷基乙烯醚)]
*8 PCTFE 指聚氯三氟乙烯。
*9 安装完成后,务必参照《D707WR调零程序》进行零点调整。
*10 EtherCAT® 是注册商标和专利技术,由德国Beckhoff Automation GmbH授权。

留言咨询

如您有任何疑问,请在此留下详细需求信息,我们将竭诚为您服务。 * 这些字段为必填项。

Related products

CVS-ONE
CVS-ONE

定容取样

D700MG
D700MG

高响应压力非敏感质量流量器

D700WR
D700WR

宽范围压敏质量流量计

DZ-100
DZ-100

紧凑型质量流量控制器

EXFM-ONE
EXFM-ONE

超声波尾气流量计

FS-3000
FS-3000

热式气体分流器

HyFQ-2000 Series
HyFQ-2000 Series

Hydrogen Fuel Flow Meter

LE 系列
LE 系列

大流量液体源汽化控制系统

LF-F/LV-F 系列
LF-F/LV-F 系列

数字式液体质量流量计/控制器

LSC 系列
LSC 系列

紧凑型加热汽化

LU 系列
LU 系列

自动供液系统

LU-4000 系列
LU-4000 系列

POCl3 自动供液系统

MI-1000/MV-1000
MI-1000/MV-1000

混合注入系统液体汽化器

MV-2000 系列
MV-2000 系列

混合注入系统液体汽化器

PTFM-1000V2
PTFM-1000V2

皮托管流量计

PTFM-ONE-DT
PTFM-ONE-DT

双路皮托管流量计

SEC-400 系列
SEC-400 系列

质量流量控制器

SEC-8000 F/D/E 系列
SEC-8000 F/D/E 系列

高温数字式质量流量控制器

SEC-E 系列
SEC-E 系列

质量流量控制器

SEC-N100 系列
SEC-N100 系列

数字式质量流量控制器

SEC-Z500X
SEC-Z500X

多量程/多气体数字质量流量控制器

SEC-Z700S 系列
SEC-Z700S 系列

新型压力补偿质量流量控制器

SEC-Z700X 系列
SEC-Z700X 系列

压力补偿质量流量控制器

VC 系列
VC 系列

直接液体注入系统

压差式质量流量控制器 D500
压差式质量流量控制器 D500

压差式质量流量控制器

D700MG
D700MG

高响应压力非敏感质量流量器

D700WR
D700WR

宽范围压敏质量流量计

DZ-100
DZ-100

紧凑型质量流量控制器

FS-3000
FS-3000

热式气体分流器

LF-F/LV-F 系列
LF-F/LV-F 系列

数字式液体质量流量计/控制器

PTFM-ONE-DT
PTFM-ONE-DT

双路皮托管流量计

SEC-400 系列
SEC-400 系列

质量流量控制器

SEC-8000 F/D/E 系列
SEC-8000 F/D/E 系列

高温数字式质量流量控制器

SEC-E 系列
SEC-E 系列

质量流量控制器

SEC-N100 系列
SEC-N100 系列

数字式质量流量控制器

SEC-Z500X
SEC-Z500X

多量程/多气体数字质量流量控制器

SEC-Z700S 系列
SEC-Z700S 系列

新型压力补偿质量流量控制器

SEC-Z700X 系列
SEC-Z700X 系列

压力补偿质量流量控制器

VG-200S
VG-200S

电容式压力计

压差式质量流量控制器 D500
压差式质量流量控制器 D500

压差式质量流量控制器