HE-960H-TM

HE-960H-TM,HE-960H-KOH,HE-960H-TM-S

宽测量范围 TMAH 浓度计

可准确测量 TMAH(四甲基氢氧化铵)的浓度。TMAH 是半导体制程中光刻胶显影液的主要成分。宽测量范围:0 - 10 %。配备耐化学腐蚀的碳传感器。

事业部: 半导体
产品分类: 湿法过程控制
制造商: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.
  • 宽测量范围
        浓度:0 - 10%,电导率:0 - 1000 mS/cm
  • 自动切换测量范围显示
  • 支持三类测量:TMAH 浓度、电导率和温度
  • 耐化学腐蚀碳传感器
  • 24V 直流电源
  • 符合 RoHS 标准

Indication Converter

ModelHE-960H-TM
Measurement range0 - 10%
Ambient environmentTemperature: -5 to 45°C, Relative humidity: 20 to 85 % (without condensation)
Power supply24 V DC ±10%, 10 W (max.)
Protective structurePanel: IP65, Rear case: IP20, Terminal: IP00 (indoor-use panel installation type)
MassApprox. 550 g
Conforming standardsCE marking, FCC Part 15
Compatible sensorsFES-510 series (flow-type carbon sensor)

Schematics

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