IR-300

Vapor Concentration Monitor IR-300

蒸汽浓度监测仪

金属有机化学气相沉积(MOCVD)工艺广泛应用于发光二极管、光学器件和其他组建的制造。通过控制温度、压力和载气流速(鼓泡法),液体和固体化学品被输送到反应室。IR-300 系列可实时测量和报告化学品浓度,为用户带来以下优势:

  • 优化制程控制,生产更多高级器件
  • 提高器件成品率并减少废料
  • 提高再现性
  • 了解何时需要更换鼓泡器
  • 延长 MTTA
  • 减少非计划干预
  • 减少高价值的化学品浪费
事业部: 半导体
产品分类: 干法制程控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.
  • 实时监测
    快速响应和出色的重复性允许实时跟踪蒸汽浓度的变化
  • 多重校准曲线功能(可选)
    允许测量多达 3 种化学品或量程的浓度
  • 多重显示功能
    IR-300 设备顶部的多重显示功能为用户提供了浓度监测和前驱体供应管线状态的现场检查能力
  • 通信功能
    通过 DeviceNet™、RS485 和模拟通信连接
  • 设计简单紧凑
    该设备的面对面尺寸为 124 毫米,设计紧凑且不受安装方向限制,易于集成

 

高光强和长寿命光源与高速信号处理相结合,使 IR-300 系列能够对化学品浓度的变化做出更快、更可重复的响应。这些特性通过实时在线浓度测量,让用户真正了解实际制程。

MOCVD 化学品的测量示例

■实验流程图

■监测化学品浓度变化

以下是实时监测供应化学品浓度的示例,化学品浓度因背压调节器调节鼓泡器中的压力而改变。

 

测量技术

可靠、高性能
非分散红外吸收法(NDIR)

IR-300 系列采用的红外吸收法利用测量红外光源发出的红外光中气体分子吸收的原理。将吸收了被测气体的样品输出与无吸光度的参考输出进行对比,并将结果转换成气体浓度。使用这种双光束方法可以获得长期稳定的测量结果。

 

光学系统由光源、气室和双光束检测器组成。双光束检测器的稳定性已得到 40 多年的验证。

Specification

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