HORIBA 作为质量流量控制器供应商之一,在真空加热炉市场具有丰富经验。
HORIBA 的流量控制器控制范围广,从几 CCM 到数百 LM 不等。
得益于其多量程/多气体功能,HORIBA 的质量流量控制器具有良好的可重复性,可准确控制气体,减少现场库存。
真空加热炉要求供气准确、稳定,为此将质量流量控制器用于控制氮气、氢气、氦气和氩气等多种气体。使用上述气体的主要目的是防止氧化和保持温度控制。
对于需要在工艺中添加水分使材料表面脱氧的应用,HORIBA 的汽化器和液体质量流量计是理想选择。
HORIBA 提供不同类型的汽化器,可汽化多种液体材料,使其满足客户的各种工艺条件。
流量控制器可准确控制真空渗碳炉内的乙烯、氢气等流量。此外,通过电容压力计VG-200系列测量真空渗碳炉的排气压力,确保渗碳均匀,提高生产率。
数字式液体质量流量计/控制器
混合注入系统液体汽化器
数字式质量流量控制器
质量流量控制器
电容压力计
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