MI-1000/MV-1000

Mixed Injection System Liquid Vaporizers MV-1000
Mixed Injection System Liquid Vaporizers MI-1000

混合注入系统液体汽化器

该混合注入系统可通过使用气液混合物汽化方法快速汽化各种液体源。该方法可实现高沸点液体的稳定汽化。

事业部: 半导体
产品分类: 流体控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.
  • 气液混合物汽化方法确保稳定地汽化高沸点液体
  • 紧凑设计便于集成
  • 汽化效率高于传统汽化方法
  • 产生更大流量
  • 汽化温度降低

 

测量技术

注入方式
以下是汽化液体源并将其输送到处理室的主要步骤。
1. 测量液体源的流量,并通过阀门反馈和控制液体量。
2. 液体瞬间汽化。
3. 气体被释放,防止凝结成液态。

由于载气在注入器内部喷嘴前的压力较高,因此可以获得有效加热。液体源和加热的载气在喷嘴前的气液混合区混合在一起,当混合物通过喷嘴时,压力降低,混合物进而汽化。

光伏制造过程的过程控制与现场测量
光伏制造过程的过程控制与现场测量
用于实验室研究与测试的液体源蒸发与供应
用于实验室研究与测试的液体源蒸发与供应

留言咨询

如您有任何疑问,请在此留下详细需求信息,我们将竭诚为您服务。 * 这些字段为必填项。

Related products

EC-5000 系列
More EC-5000 系列

排气压力控制器

EV 2.0 系列
More EV 2.0 系列

基于光发射光谱和 MWL 干涉测量法的工艺终点/反应腔健康监测

EV-140C
More EV-140C

光发射光谱蚀刻终点监测仪

LE 系列
More LE 系列

大流量液体源汽化控制系统

LF-F/LV-F 系列
More LF-F/LV-F 系列

数字式液体质量流量计/控制器

LSC 系列
More LSC 系列

紧凑型加热汽化

LU 系列
More LU 系列

自动供液系统

LU-4000 系列
More LU-4000 系列

POCl3 自动供液系统

MI-1000/MV-1000
More MI-1000/MV-1000

混合注入系统液体汽化器

MV-2000 系列
More MV-2000 系列

混合注入系统液体汽化器

SEC-8000 F/D/E 系列
More SEC-8000 F/D/E 系列

高温数字式质量流量控制器

SEC-N100 系列
More SEC-N100 系列

数字式质量流量控制器

SEC-Z500X
More SEC-Z500X

多量程/多气体数字质量流量控制器

UR-Z700 系列
More UR-Z700 系列

数字式自动压力调节器

VC 系列
More VC 系列

直接液体注入系统

CVS-ONE
More CVS-ONE

定容取样

D700MG
More D700MG

High Speed & Precision Pressure Insensitive Mass Flow Module

D700WR
More D700WR

Wide Range Pressure Insensitive Mass Flow Module

DZ-100
More DZ-100

紧凑型质量流量控制器

EXFM-ONE
More EXFM-ONE

超声波尾气流量计

FS-3000
More FS-3000

热式气体分流器

LE 系列
More LE 系列

大流量液体源汽化控制系统

LF-F/LV-F 系列
More LF-F/LV-F 系列

数字式液体质量流量计/控制器

LSC 系列
More LSC 系列

紧凑型加热汽化

LU 系列
More LU 系列

自动供液系统

LU-4000 系列
More LU-4000 系列

POCl3 自动供液系统

MI-1000/MV-1000
More MI-1000/MV-1000

混合注入系统液体汽化器

MV-2000 系列
More MV-2000 系列

混合注入系统液体汽化器

PTFM-1000V2
More PTFM-1000V2

皮托管流量计

PTFM-ONE-DT
More PTFM-ONE-DT

双路皮托管流量计

SEC-400 系列
More SEC-400 系列

质量流量控制器

SEC-8000 F/D/E 系列
More SEC-8000 F/D/E 系列

高温数字式质量流量控制器

SEC-E 系列
More SEC-E 系列

质量流量控制器

SEC-N100 系列
More SEC-N100 系列

数字式质量流量控制器

SEC-Z500X
More SEC-Z500X

多量程/多气体数字质量流量控制器

SEC-Z700S 系列
More SEC-Z700S 系列

新型压力补偿质量流量控制器

SEC-Z700X 系列
More SEC-Z700X 系列

压力补偿质量流量控制器

VC 系列
More VC 系列

直接液体注入系统

XF-100 系列
More XF-100 系列

数字式液体质量流量计

压差式质量流量控制器 D500
More 压差式质量流量控制器 D500

压差式质量流量控制器

MI-1000/MV-1000
More MI-1000/MV-1000

混合注入系统液体汽化器

MV-2000 系列
More MV-2000 系列

混合注入系统液体汽化器

Corporate