EV-140C Series

Optical Emission Spectroscopy Etching End-point Monitor EV-140C

プラズマ発光モニタ

プラズマを利用した半導体薄膜プロセスにおいて、エンドポイントの検出またはプラズマのコンディション管理を行うための、発光分析方式のエンドポイントモニタです。
独自開発のアルゴリズム“Rupture Intensity”により微弱な信号変化から的確にエンドポイントを検出できます。
微弱な発光変化を捉えるため、感度を大幅に改善。
またノイズ耐性を向上させることにより、24時間稼動する製造ラインの過酷な環境化で高い安定動作を確保します。

製造元：株式会社堀場製作所

事業セグメント: 半導体

製品分類: Dry Process Control

製造会社: HORIBA, Ltd.

開口比 F/2の明るいグレーティングを採用
2048Ch 高感度高分解能裏面入射型CCD ラインセンサ搭載
高度なプロセスコントロールを実現するソフトウェア Sigma-P

センサーユニット

・分光器

波長範囲	200-800 nm
光学分解能	＜2.0 nm　@λ=200-500 nm ＜2.5 nm　@λ=500-700 nm （FWHM理論分解能）
焦点距離	140 mm

・検出器

CCDタイプ	裏面入射型CCDリニアイメージセンサ
A/D分解能	16ビット
サンプリングレート	20 msec～2.5 sec

・その他仕様

接続チャンバ数		1 ch
AC電源仕様	センサユニットサイズ	142 × 201 × 257 mm（W×H×D）※突起部を含まず
	センサユニット質量	5.8 kg
	電源仕様	AC100-240 V ±10 %, 50/60 Hz ±3 Hz　電源プラグ：3P（接地極付き）
	消費電力	50 VA以下
動作環境温度		15-35 ℃
動作環境湿度		80 %RH以下

外部コントローラ

	ノートパソコンを選択する場合	産業用パソコンを選択する場合
OS	Windows 11 Pro（64ビット版、英語版）	Windows 10 IoT Enterprise 2021 LTSC（英語版）
CPU	Intel Core Ultra 5 235U	Intel Core i3-12100TE
メインメモリ	8 GB以上	8 GB以上
記憶装置	500 GB以上（SSD）	512 GB以上（SSD）

ファイバ

ファイバ仕様	合成石英ファイバ
ファイバグレード	VIS用
ファイバ長	2 mまたは5 m　※ご注文時指定

接続ケーブル

LANケーブル

3 m　（EV-140C センサユニット・コントローラユニット間）

外部取り合い

リモートプロトコル

パラレルI/O、TCP/IP、RS-232C　※ご注文時指定

オプション

チャンバアダプタ	集光レンズユニット
エンドポイント最適化ソフトウェア	対応OS：Windows 10, Windows 11（64ビット）

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