PoliSpectra ® 135

Espectrômetro multicanal e imageador de linha hiperespectral

HORIBA desenvolveu uma plataforma de espectroscopia robusta e de alto desempenho, configurável em fábrica para uso em sistemas de imagem multicanal ou hiperespectral. Este sistema pode ser configurado com nossa câmera sCMOS 2D Sylent®, câmeras de baixo custo ou até mesmo sensores fornecidos pelo cliente. Em aplicações de imagem hiperespectral, este sistema pode ser usado como um instrumento de varredura linear (push-broom) que coleta dados espectrais completos simultaneamente ao longo da altura da fenda de entrada.

Variações

  • Multicanal (M135) vs. baseado em lente ou fenda nua (H135)
  • Duas grades de difração à escolha: UV-NIR ou VIS-NIR.
  • Os sensores padrão são as câmeras sCMOS da Sylent (resfriadas a -25 °C ou não resfriadas) ou qualquer sensor de preferência do cliente.

Para aplicações industriais OEM

  • Espectroscopia de Emissão Óptica (OES)
  • Fluorescência
  • Imagens de linha hiperespectrais
  • Inspeção e Metrologia de Semicondutores
  • Monitoramento de Processos de Semicondutores
  • Reconhecimento Aéreo

 

*Disponível em países selecionados.

Você pode enviar um e-mail para a equipe de vendas técnicas da Horiba para OEM.US(at)horiba.com ou entrar em contato com a Horiba pelo telefone +1.732.494.8660, ramal 7733.

Segmento: Científico
Fabricante: HORIBA Scientific
  • Até 96 canais de fibra com leitura simultânea (configurável de fábrica)
  • Imagem hiperespectral ultravioleta em linha (180-1050 nm)
  • Alto rendimento combinado com baixa dispersão de luz.
  • CMOS científico 2D com alta eficiência quântica e baixo ruído.

 

Gráficos de largura de linha espectral

A especificação de resolução de comprimento de onda estabelece a largura máxima (FWHM) de todas as linhas espectrais em todos os canais. Este é um requisito mais rigoroso do que usar a média como especificação.

 

A resolução de um sistema hiperespectral H135 baseado em lentes depende da grade de difração, da fenda e da abertura (número f) da lente utilizada.

Guia de Seleção de Espectrômetros OEM

Veja e baixe nosso Guia de Seleção de Espectrômetros OEM.

Você pode enviar um e-mail para a equipe de vendas técnicas da Horiba para OEM.US(at)horiba.com ou entrar em contato com a Horiba pelo telefone +1.732.494.8660, ramal 7733.

Especificações gerais do espectrômetro

PoliSpectra 135Grade VIS-NIRGrade UV-NIR
Faixa de eficiência da grade (nm)300-1050185-900
Faixa configurávelDependente do sensor; consulte a tabela de faixa espectral.
F/#F/2.3
Distância focal (nm)135.0
Resolução espectral (fenda de 20 μm) (nm) 11.02.0
Dispersão da grade (nm/mm)34.7
Brilho difuso (nm)575280
Densidade de ranhuras da grade (linhas/mm)401239
Peso (sem câmera) (lbs.)4.7
Peso (com câmera não refrigerada) (lbs.)6.0
Peso (com câmera refrigerada) (lbs.)10.4
Max Keystone (μm)<15
Inclinação Espectral (μm) 2<15
Diafonia (%) 3<1.5<1.7
Luz difusa (%) 4<0.2<0.3
Configuração de fibra multicanal
Fibras multicanalaté 96
Precisão do comprimento de onda (nm)<0.1
Sorriso (μm) 5N / D
Configuração de imagem linear
Opção de lentemontagem c
Altura máxima da imagem espacial (mm)20.0
Ampliação1:1
Precisão do comprimento de onda (nm)<0.4
Resolução espacial (μm)6.09.0
Sorriso (μm) (imagem de linha)<15

1. Largura máxima da linha espectral (FWHM) para todos os picos na imagem.
2 em comparação com uma fileira de sensores.
3. A porcentagem de diafonia pode ser ainda mais reduzida com mais espaço morto entre os canais. Medido em um canal (desligado), com todos os outros canais iluminados. Consulte a figura de Cálculo de Diafonia nas páginas seguintes.
4. Luz difusa medida usando um filtro BP: Nível de luz basal (fora da banda) dividido pelo pico BP (não saturado).
5. O efeito Smile é eliminado utilizando coeficientes de calibração de canal.

Resolução espectral versus tamanho da fenda

Melhor resolução espectral (nm)*
Largura da fenda (μm)223545100200
Grade UV-NIR (brilho de 280 nm)2.02.75.36.512.3
Grade VIS-NIR (brilho de 575 nm)1.01.51.93.87.2

* Ignorando as limitações de pixels, que dependem do sensor. A especificação é a largura máxima (FWHM) de todas as linhas espectrais em todos os canais (ou linhas) da imagem. Fendas de qualquer tamanho podem ser encomendadas (para quantidades OEM).

Faixa espectral versus grade de difração e escolha do sensor

 VIS-NIRVIS-NIR
SensorResolução digital (nm/px)*Alcance (nm)Exemplo baixo (nm)Exemplo Alto (nm)Resolução digital (nm/px)*Alcance (nm)Exemplo baixo (nm)Exemplo Alto (nm)
1.3 MP-XX-9.76-BI0.3434300-734616-10500.6727200-927323-1050
1.3 MP-XX-9.76-BI0.2462300-762588-10500.4775200-975275-1050
1.3 MP-XX-9.76-BI0.4782300-10500.61311200-1050
IMX1740.2394400-7940.3660A definir

*Resolução digital média, também conhecida como dispersão digital

 

Opções de sensores

      Ruído de leitura (mediana)      
NomeTipo de sensorPixels EfetivosTamanho do pixel (μm)Pixels ativosÁrea fotossensível ativa (mm)DST (e-)CMS (e-)ADC (bits)ObturadorBem cheioDinâmico/Faixa (dB)QEResfriamento
  
1.3 MP-XX-9.76-BIsCMOS retroiluminado1,3 MP9,76 x 9,761024 x 12809,994 x 12,4931.60.912, 16
(Modo HDR), 32 1
Rolante48 ke-90.0Até 90%Sem refrigeração ou -25°C
4.2 MP-XX-6.5-BIsCMOS retroiluminado4,2 MP6,5 x 6,52048 x 204813,312 x 13,3121.61.212, 16
(Modo HDR), 32 2
Rolante53 ke-89.5Até 95%Sem refrigeração ou -20°C
4.2 MP-XX-11-BIsCMOS retroiluminado4,2 MP11 x 112048 x 204822,528 x 22,5281.6N / D12, 16
(Modo HDR), 32 2
Rolante80 ke-93.9Até 95%Sem refrigeração ou -20°C
IMX174CMOS2,3 MP5,86 x 5,861216 x 19367,126 x 11,3457.410, 12Global30 ke-71.7Até 78%Não refrigerado

1. No modo de espectros agrupados.
2 No modo de espectros agrupados (roteiro).

Outras opções de sensores:
EMCCD
CCD (obturador eletrônico)
Sensores do cliente (instalados somente na fábrica)

Opções de entrada

   Velocidade (FPS) 
Exemplos de entrada
Outras configurações disponíveis mediante solicitação.
Fibra
Tipo
Capacidade de processamento1.3 MP-XX-9.76-BI 14.2 MP-XX-6.5-BI 14.2 MP-XX-11-BI 1
Sony IMX174 2Notas
Canal únicoArredondar para a linhaExtremo203623664 
4 canais200 μmBom198155164322 
Alto rendimento de 4 canais (OES Multitrack)PacoteMuito bom645862165 
8 canais200 μmBom107132141284 
18 canais100 μmBaixo4196106212 
34 canais70 μmBaixo235358N / D 
34 canais100 μmBaixo245762N / D 
Fibra de imagemFibras de 4 μm x 100 kMédio134332358586Somente VIS
(365 nm +)
Imagem de linha hiperespectral de chip completo
(Lente ou fenda exposta)
N / DDepende da quantidade de
linhas agrupadas
203623664A relação entre a fenda e a imagem da câmera é de 1:1.

1 Modo HDR
2 Modo de 12 bits

 

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