Espectrômetros OES

Espectrômetros OES (Espectrômetros de Emissão Óptica para OEMs) otimizados para aplicações em semicondutores, incluindo monitoramento de plasma/detecção de ponto final e refletometria (com a adição de uma lâmpada de flash). O OES-Star apresenta rendimento e relação sinal-ruído incomparáveis, cobertura espectral e resolução < 1 nm. Nossa nova família OES, OES-Star e VS70-MC, inclui nossa mais recente tecnologia de "interface de múltiplas comunicações" (MC = EtherCAT, Ethernet, USB-2).

O M116 é um novo espectrômetro multiespectral de imagem (200-1050 nm) com um sensor CMOS 2D científico de alta velocidade que permite o monitoramento de múltiplas ferramentas ou múltiplas áreas de um plasma, com 8, 16 ou 32 canais de fibra óptica, adquiridos simultaneamente. Seu sensor apresenta ruído de leitura < 2e-, obturador eletrônico e interface USB 3.0. Para integração em um refletômetro, feixes de fibra óptica personalizados podem ser projetados de acordo com suas necessidades.