Opções e acessórios para elipsômetro espectroscópico
Uma ampla gama de opções e acessórios está disponível para os elipsômetros espectroscópicos da HORIBA, permitindo aprimorar e expandir o desempenho e a versatilidade do instrumento. O design modular dos nossos elipsômetros espectroscópicos possibilita que o instrumento seja facilmente atualizado ao longo de sua vida útil, adaptando-se da melhor forma às necessidades de aplicação em constante mudança.
Opções | |
Palco motorizado XY | Plataforma motorizada XY para mapeamento de uniformidade de filmes finos |
| A plataforma motorizada XY proporciona movimentação automatizada para mapeamento de amostras. Recursos adicionais, como monitoramento por câmera CCD combinado com a óptica de micropontos integrada, oferecem a solução ideal para a caracterização precisa de wafers padronizados. |
Goniômetro automático | Goniômetro automático para variar o ângulo de incidência |
| O goniômetro automático fornece medições automatizadas de ângulos variáveis. O objetivo da aquisição de múltiplos ângulos é aumentar a quantidade de dados disponíveis para a caracterização de um material. Além disso, cada material apresenta um ângulo de Brewster que proporciona maior sensibilidade do que outros. |
Goniômetro integrado compacto | Goniômetro compacto integrado para soluções econômicas |
| O goniômetro integrado compacto oferece uma solução econômica para UVISEL de bancada e para elipsômetro espectroscópico UVISEL de bancada. Essa configuração é conveniente para a maioria das aplicações em filmes finos.
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Acessórios | |
Palco com temperatura controlada | Estágio com temperatura controlada para estudar como as propriedades do filme mudam com a temperatura. |
| A plataforma com controle de temperatura permite a caracterização de amostras em uma faixa de temperaturas (de -196°C a 350°C e da temperatura ambiente a 600°C) para a investigação de novas propriedades de materiais (análise de transição térmica para polímeros, estrutura de bandas para ligas compostas). |
Célula eletroquímica | Célula eletroquímica para estudar processos eletroquímicos |
| A célula eletroquímica foi projetada pela HORIBA para o estudo de processos eletroquímicos utilizando o elipsômetro espectroscópico UVISEL. O acesso óptico à amostra é feito através de três janelas de sílica fundida. Duas das janelas estão montadas a 70º em relação à normal para acesso por elipsometria, e a terceira permite ao usuário observar a amostra dentro da célula. O corpo da célula que entra em contato com a amostra é fabricado em PVC, e o suporte da amostra é fabricado em PTFE para evitar qualquer interação com o meio. O volume da célula é de 43 ml e compreende um eletrodo de referência Ag/AgCl e um contraeletrodo de platina. Os contatos elétricos são fornecidos por meio de conexões robustas e de alta integridade. |
Célula líquida | Célula líquida para experimentos com sólidos e sólido/líquido |
| A célula para líquidos foi projetada para facilitar a montagem e a limpeza de quaisquer experimentos com líquidos e sólidos/líquidos usando elipsômetros espectroscópicos HORIBA. A célula líquida consiste em uma cubeta de 30 mm (C) x 30 mm (L) x 13 mm (A) feita de aço inoxidável e polímero PEEK. Ela possui duas janelas de sílica fundida para UV, montadas a 70°, permitindo a passagem da luz para a investigação de interfaces sólido/líquido. Suporta amostras de até 4 mm de espessura e requer 12 ml de líquido para experimentos sólido/líquido. A escolha dos materiais e o design da célula permitem a sua desmontagem completa, possibilitando uma limpeza minuciosa e eliminando a contaminação cruzada quando utilizada em diferentes experimentos. |
Célula selada | Célula selada para a caracterização de filmes finos em condições ambientais sem ar. |
| A célula selada foi projetada para a caracterização elipsométrica de materiais sensíveis ao ar ou à umidade, ou para experimentos que estudam o efeito de vapores/gases em camadas de materiais. |
Criostato | Criostato para manter baixas temperaturas criogênicas |
A opção de criostato está disponível mediante solicitação. Entre em contato conosco diretamente para obter mais informações. | |
Estágios de rotação ou θ | Estágio de rotação para estudo de amostras anisotrópicas |
| A plataforma de rotação ou θ permite a rotação automatizada de 360° da amostra e é útil para a caracterização de amostras anisotrópicas complexas e cristais líquidos.
Especificações
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Estágio de amostra inclinado | Plataforma de amostra inclinada para medição de amostras fotovoltaicas |
| A plataforma de amostra inclinada integra um porta-amostras de 160 mm x 160 mm com placa de fixação a vácuo. O ajuste de inclinação da posição horizontal até 90° é ideal para otimizar a coleta de sinal de amostras fotovoltaicas de silício texturizadas, e a altura da plataforma é ajustável manualmente para permitir a medição de amostras com até 10 mm de espessura. A plataforma também permite medições de transmissão. |
Célula de transmissão | Célula de transmissão T para medição da transmissão da amostra e da transmissão elipsométrica a 70° |
| O suporte de amostra inclinado permite medições de transmissão a 70° de pequenas amostras com diâmetro entre 10 mm e 50 mm e encaixa-se diretamente na plataforma de amostra padrão usada para elipsômetros HORIBA.
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Suporte de substrato flexível | Suporte flexível para substratos, permitindo a montagem prática de substratos flexíveis. |
| O suporte flexível para substratos permite a montagem rápida de amostras flexíveis em anéis duplos para medições elipsométricas. Estão disponíveis dois diâmetros: 20 mm e 50 mm. |
