Um plasma pode ser criado utilizando diversos gases. O argônio é geralmente preferido devido às suas características. Como todos os gases nobres, ele é monoatômico, quimicamente inerte e possui alta energia de ionização (15,76 eV). O uso do argônio apresenta muitas vantagens:
Sua única limitação é a baixa condutividade térmica, que também pode ser uma vantagem, simplificando o projeto de instrumentos. Alguns instrumentos que utilizam hélio ou ar já foram projetados no passado. O alto custo do hélio e as desvantagens do ar, como o espectro complexo emitido, a formação de compostos estáveis com os elementos e sua menor energia de ionização, limitaram o uso ou o desempenho desses instrumentos.
Todas as informações relevantes para a análise elementar estão na faixa de comprimento de onda de 120 a 800 nm. Alguns instrumentos só conseguem acessar a faixa de 160 a 800 nm, limitando o leque de aplicações que podem ser realizadas por ICP-OES. A faixa de 120 a 160 nm é particularmente útil para a análise de halogênios ou para linhas alternativas em algumas aplicações específicas.
