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流体控制

HORIBA 提供多样化的产品满足流体测量和控制需求。

HORIBA 可为各种制程和研究实验室提供对气体和液体的精确测量和可靠控制。HORIBA 是公认的高性能质量流量计、质量流量控制器、自动压力控制器和液体汽化系统的制造商,前述产品在尖端半导体制造行业中被广泛使用。

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D500

压力控制

GR-200

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MV-2000

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