质量流量控制
HORIBA 提供多样化的产品满足流体测量和控制需求。
HORIBA 可为各种制程和研究实验室提供对气体和液体的精确测量和可靠控制。HORIBA 是公认的高性能质量流量计、质量流量控制器、自动压力控制器和液体汽化系统的制造商，前述产品在尖端半导体制造行业中被广泛使用。
紧凑型质量流量控制器
排气压力控制器
热式气体分流器
晶圆背面冷却系统
大流量液体源汽化控制系统
数字式液体质量流量计/控制器
混合注入系统液体汽化器
混合注入系统液体汽化器
压电阀
质量流量控制器
高温数字式质量流量控制器
质量流量控制器
数字式质量流量控制器
多量程/多气体数字质量流量控制器
压力补偿质量流量控制器
数字式自动压力调节器
直接液体注入系统
数字式液体质量流量计
压差式质量流量控制器
如您有任何疑问，请在此留下详细需求信息，我们将竭诚为您服务。
