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流体控制

HORIBA has a diverse range of products to cater for your fluid measurement and control requirements.

In a variety of manufacturing processes and research laboratories we offer precise measurement and reliable control of gas and liquids.  HORIBA is the recognised leader of high performance mass flow meters, mass flow controllers, automatic pressure controllers and liquid vaporization systems used throughout the cutting edge semiconductor manufacturing industry.

SEC-Z500X
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多量程/多气体数字质量流量控制器

SEC-Z700S 系列
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新型压力补偿质量流量控制器

SEC-N100 系列
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数字式质量流量控制器

SEC-E 系列
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质量流量控制器

SEC-8000 F/D/E 系列
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高温数字式质量流量控制器

SEC-400 系列
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质量流量控制器

UR-Z700 系列
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数字式自动压力调节器

FS-3000
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热式气体分流器

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