在多层陶瓷电容器(MLCC)的制造过程中,介电材料被制成浆料,压制成型后在烧结炉中焙烧。烧结过程中需要向炉内引入并补充空气、N2, O2, 和H2O等大气气体。
陶瓷电容器的品质(裂纹、表面翘曲)取决于引入气体的控制、H2O 的蒸发控制以及湿度管理。
H2O 蒸发器和压力检测器是生产高质量多层陶瓷电容器(MLCC)不可或缺的设备。
电容式压力计
数字式液体质量流量计/控制器
数字式液体质量流量计
混合注入系统液体汽化器
大流量液体源汽化控制系统
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