MV-2000 系列

MV-2000 Series

混合注入系统液体汽化器

MV-2000 系列采用新的螺旋流加热方法,即使在低温下也能实现稳定汽化。适用于包含 “High-k”工艺液体在内的一系列液体源的汽化。

事业部: 半导体
产品分类: 流体控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.
  • 使用螺旋流加热方法实现稳定的低温汽化
  • 大流量汽化(增加稳定性数据)
  • 可汽化易热解的液体源
 
ModelMV-2000
Liquid MaterialAll liquids except those corrosive to stainless steel(ex. HCl, HF)
Setting TemperatureBy vaporization conditions(Control Valve : Max 140 ˚C Vaporizer : Max 200 ˚C)
Leak Integrity≤ 1 × 10-8 Pa·m3 /s (He)
Internal leak standard≤ 1 × 10-6 Pa·m3 /s (He)
Wetted partsSUS316L , PFA
Temperature SensorThermocouple type K (CA)
Pressure Resistance1MPa (G)
Standard FittingLiquid inlet: 1/8 VCR type Male Carrier gas inlet: 1/4 VCR type Female Gas outlet: 1/2 VCR type Male
Operating Temperature15 - 50 ˚C
OptionAir valve(Internal leak standard: ≤ 1×10-9 Pa · m3 / s(He) )
  • The generated flow rate may differ depending on the liquid material, amount of generation, generation conditions, etc. We will recommend the model most suited to your needs upon consultation.
  • The vaporizer has a heater, temperature sensor, and switch inside of it. Please contact us for more details on their specifications.

 

External Dimension

光伏制造过程的过程控制与现场测量
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用于实验室研究与测试的液体源蒸发与供应
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