LE 系列

Large Flow Liquid Source Vaporization Control System LE Series Image

大流量液体源汽化控制系统

LE 系列大流量高效汽化器将通道和加热器元件嵌入铸铝块,确保最大的传热率,并消除冷点和冷凝风险。该液体源汽化控制系统可在高达 300℃ 的温度下运行,IPA(或等效物质)汽化效率可达 30g/min。

事业部: 半导体
产品分类: 流体控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.
  • 新设计实现汽化率的最大化
  • 新喷嘴确保持续稳定的液体注入,实现稳定的蒸气输出浓度
  • 全不锈钢设计最大限度地提高耐腐蚀性,减少颗粒产生
  • 适用于多种液体材料
Application liquidH2O/IPA/TEOS/SiCl4

Please contact HORIBA if you require vaporizing any liquid materials that are not listed here.
Maximum vaporization volume (gas flow rate)H2O : 10g/min (12.4 SLM)
IPA : 30g/min (11.1 SLM)
TEOS : 50g/min(5.3 SLM)
SiCl4 : 130g/min(17.1 SLM)
用于实验室研究与测试的液体源蒸发与供应
用于实验室研究与测试的液体源蒸发与供应
食品和饮料生产中的灭菌过程
食品和饮料生产中的灭菌过程

留言咨询

如您有任何疑问,请在此留下详细需求信息,我们将竭诚为您服务。

* 这些字段为必填项。

Related products

IR-400
IR-400

用于腔室清洗终点监测的高级气体监测仪

LE 系列
LE 系列

大流量液体源汽化控制系统

LF-F/LV-F 系列
LF-F/LV-F 系列

数字式液体质量流量计/控制器

LSC 系列
LSC 系列

紧凑型加热汽化

LU 系列
LU 系列

自动供液系统

MI-1000/MV-1000
MI-1000/MV-1000

混合注入系统液体汽化器

MV-2000 系列
MV-2000 系列

混合注入系统液体汽化器

SEC-8000 F/D/E 系列
SEC-8000 F/D/E 系列

高温数字式质量流量控制器

SEC-N100 系列
SEC-N100 系列

数字式质量流量控制器

SEC-Z500X
SEC-Z500X

多量程/多气体数字质量流量控制器

VC 系列
VC 系列

直接液体注入系统

VG-200S
VG-200S

电容式压力计

CVS-ONE
CVS-ONE

定容取样

D700MG
D700MG

高响应压力非敏感质量流量器

D700T
D700T

Best Performance Pressure Insensitive Mass Flow Module

D700uF
D700uF

Micro Flow Pressure Insensitive Mass Flow Module

D700WR
D700WR

宽范围压敏质量流量计

DZ-100
DZ-100

紧凑型质量流量控制器

EXFM-ONE
EXFM-ONE

超声波尾气流量计

FS-3000
FS-3000

热式气体分流器

HyFQ-2000 Series
HyFQ-2000 Series

Hydrogen Fuel Flow Meter

LE 系列
LE 系列

大流量液体源汽化控制系统

LF-F/LV-F 系列
LF-F/LV-F 系列

数字式液体质量流量计/控制器

LSC 系列
LSC 系列

紧凑型加热汽化

LU 系列
LU 系列

自动供液系统

MI-1000/MV-1000
MI-1000/MV-1000

混合注入系统液体汽化器

MV-2000 系列
MV-2000 系列

混合注入系统液体汽化器

PTFM-1000V2
PTFM-1000V2

皮托管流量计

PTFM-ONE-DT
PTFM-ONE-DT

双路皮托管流量计

SEC-8000 F/D/E 系列
SEC-8000 F/D/E 系列

高温数字式质量流量控制器

SEC-E 系列
SEC-E 系列

质量流量控制器

SEC-N100 系列
SEC-N100 系列

数字式质量流量控制器

SEC-Z500X
SEC-Z500X

多量程/多气体数字质量流量控制器

SEC-Z700S 系列
SEC-Z700S 系列

新型压力补偿质量流量控制器

SEC-Z700X 系列
SEC-Z700X 系列

压力补偿质量流量控制器

VC 系列
VC 系列

直接液体注入系统

压差式质量流量控制器 D500
压差式质量流量控制器 D500

压差式质量流量控制器

LE 系列
LE 系列

大流量液体源汽化控制系统

VC 系列
VC 系列

直接液体注入系统

Corporate