| Application liquid | H2O/IPA/TEOS/SiCl4 Please contact HORIBA if you require vaporizing any liquid materials that are not listed here. |
| Maximum vaporization volume (gas flow rate) | H2O : 10g/min (12.4 SLM) IPA ： 30g/min (11.1 SLM） TEOS : 50g/min（5.3 SLM） SiCl4 ： 130g/min（17.1 SLM） |
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