LE 系列

Large Flow Liquid Source Vaporization Control System LE Series Image

大流量液体源汽化控制系统

LE 系列大流量高效汽化器将通道和加热器元件嵌入铸铝块,确保最大的传热率,并消除冷点和冷凝风险。该液体源汽化控制系统可在高达 300℃ 的温度下运行,IPA(或等效物质)汽化效率可达 30g/min。

事业部: 半导体
产品分类: 流体控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.
  • 新设计实现汽化率的最大化
  • 新喷嘴确保持续稳定的液体注入,实现稳定的蒸气输出浓度
  • 全不锈钢设计最大限度地提高耐腐蚀性,减少颗粒产生
  • 适用于多种液体材料
Application liquidH2O/IPA/TEOS/SiCl4

Please contact HORIBA if you require vaporizing any liquid materials that are not listed here.
Maximum vaporization volume (gas flow rate)H2O : 10g/min (12.4 SLM)
IPA : 30g/min (11.1 SLM)
TEOS : 50g/min(5.3 SLM)
SiCl4 : 130g/min(17.1 SLM)
用于实验室研究与测试的液体源蒸发与供应
用于实验室研究与测试的液体源蒸发与供应
食品和饮料生产中的灭菌过程
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