HORIBA 是高性能汽化系统的供应商之一。HORIBA 液体源汽化器贯穿整个半导体制程，可以安全有效地将液相化学品以气相形态输送至使用点。无论液态化学品是需要在真空下还是大气压下汽化，HORIBA 的汽化技术都能提供符合要求的汽化系统。HORIBA 积累了 30 余年的汽化技术，分为直接注入、混合注入、鼓泡和烘烤汽化技术。
HORIBA 的液体源汽化系统可以稳定有效地汽化液体材料。我们的汽化器还可以连接到 HORIBA 的自动再充系统，将蒸气安全、连续地输送到使用点。由于化学品储罐可在不中断制造过程的情况下更换，所以不会出现停机问题.
HORIBA 擅长的部分液体材料
Acetic Acid | Benzene | B(OCH3)3 | BTBAS | C6F6 |
Cyclohexane | Decyl-TMOS | DPM | DPMS | Ethanol |
Ge(OCH3)4 | GeCl4 | H2O | HCD | HDFDA |
HMDS | HMDSO | i-Octane | IPA | Me-Cyclohexane |
Methanol | n-Octane | OMCTS | OMTS | P(OCH3)3 |
PO(OCH3)3 | SAM24 | Si(CH3)4 | Si(OCH3)4 | SiCH3Cl3 |
SiCl4 | SiH(OCH3)3 | SiHCl3 | Ta(OC2H5)5 | TBTDETa |
TDEAHf | TDEAT | TDMAS | TDMAT | TEB |
TEMAHf | TEMAZr | TEOS | TEPO | THF |
Ti(O-iPr)4 | TiCl4 | TMCTS | Toluene | 1,3-DMA |
如需汽化以上未列出的任何液体材料，请联系我们。
如您有任何疑问，请在此留下详细需求信息，我们将竭诚为您服务。
