Semiconductor Page Heading

流体控制系统

HORIBA 是高性能汽化系统的供应商之一。HORIBA 液体源汽化器贯穿整个半导体制程,可以安全有效地将液相化学品以气相形态输送至使用点。无论液态化学品是需要在真空下还是大气压下汽化,HORIBA 的汽化技术都能提供符合要求的汽化系统。HORIBA 积累了 30 余年的汽化技术,分为直接注入、混合注入、鼓泡和烘烤汽化技术。

HORIBA 的液体源汽化系统可以稳定有效地汽化液体材料。我们的汽化器还可以连接到 HORIBA 的自动再充系统,将蒸气安全、连续地输送到使用点。由于化学品储罐可在不中断制造过程的情况下更换,所以不会出现停机问题.

HORIBA 擅长的部分液体材料

Acetic Acid

Benzene

B(OCH3)3

BTBAS

C6F6

Cyclohexane

Decyl-TMOS

DPM

DPMS

Ethanol

Ge(OCH3)4

GeCl4

H2O

HCD

HDFDA

HMDS

HMDSO

i-Octane

IPA

Me-Cyclohexane

Methanol

n-Octane

OMCTS

OMTS

P(OCH3)3

PO(OCH3)3

SAM24

Si(CH3)4

Si(OCH3)4

SiCH3Cl3

SiCl4

SiH(OCH3)3

SiHCl3

Ta(OC2H5)5

TBTDETa

TDEAHf

TDEAT

TDMAS

TDMAT

TEB

TEMAHf

TEMAZr

TEOS

TEPO

THF

Ti(O-iPr)4

TiCl4

TMCTS

Toluene

1,3-DMA

如需汽化以上未列出的任何液体材料,请联系我们。

相关产品

LU 系列
详情 LU 系列

自动供液系统

LU-4000 系列
详情 LU-4000 系列

POCl3 自动供液系统

LSC 系列
详情 LSC 系列

紧凑型加热汽化

MU-2200
详情 MU-2200

MU 系列混合气体发生器

TU 系列
详情 TU 系列

试验气体生成系统

留言咨询

如您有任何疑问,请在此留下详细需求信息,我们将竭诚为您服务。