LU 系列

Liquid Auto Refill System

自动供液系统

LU 系列以不间断、安全和可靠的方式将液态化学品输送至液体材料烘烤系统和注入系统。这增加了正常运行时间,减少了操作人员手动操作和制程污染的风险。

LU 系列提供自动执行残余液体清洗程序的功能。

使用 LU 系列提高了供液能力和保养效率。

事业部: 半导体
产品分类: 流体控制系统
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.
  • 蒸汽压力监视功能作为标准配置,可在更换母罐期间检查吹扫效率
  • 可选配称重传感器,监视母罐中残余液体总量
  • LU-A1000 系列设计紧凑,采用集成气体系统,与传统配件相比,可显著减小尺寸
  • 日常维护时轻松更换部件
  • 脱气器模块为标准配置,可降低液体鼓泡风险,适用于各种汽化系统,包括注入和烘烤应用
  • 安全标准:SEMI S2/S8/S14, CE 标志
  • 安全改善:多样化的监视设备提供全自动控制。LU-A1000 系列配备了自动紧急关机功能,一旦系统出现故障,该功能将被启动
  • 可操作性改进:操作步骤全自动化,防止操作失误。操作也可以通过设备前端的触控面板来控制

Model

LU-A1000 series

Liquids supported

TEOS, TMOB, TMOP, TEOP, BTBAS

Supply method

Pressure movement from He gas

Gas supply pressure

For pressure movement: 0.3 to 0.6 MPa (G); For purge: 0.3 to 0.6 MPa (G), OP N2 0.6 to 0.7 MPa (G)

Tank

Maximum 5-gallon container can be attached (outside of production range)

Operation

Automatic supply/stop using external signal from supply system

Operation area display details

Pressure error display; When an alarm is triggered: Display hold function (manual reset); Liquid level display; Sequence, etc.

Gas connection

Refer to basic flow

Power source

AC 100 to 240 V, 50/60 Hz, 300 VA

Electricity connection

AC 100 to 240 V breaker connection, signal receptacle

External dimensions

See external dimensions diagram

  

* Please make decisions regarding the specifications above after meeting with STEC.

外形尺寸

External Dimension of Liquid Auto Refill System LU Series

System Examples of LU-A1000 SeriesFlow Schematic of LU-A1000 Series 

光伏制造过程的过程控制与现场测量
光伏制造过程的过程控制与现场测量
用于实验室研究与测试的液体源蒸发与供应
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