LSC 系列

Compact Baking System LSC series

紧凑型加热汽化

HORIBA 销量人气的加热汽化系统为满足目前高科技工业的需求而开发。该系统可在无需载气的情况下进行稳定的材料汽化,例如 TEOS(流量 600 SCCM)和 H2O(流量 2 SLM)。为方便操作,所有设备维护都可以在设备前端进行。

事业部: 半导体
产品分类: 流体控制系统
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.
  • 大流量气化
  • LSC-A100 提供 TEOS 600SCCM 和 H2O 2SLM 等材料的稳定气化
  • 所有设备维护都可以在设备前端进行
  • 可选掌上型 PDA 用于监控 LSC 的运行状态,并记录和分析运行日志

 

 

Flow rate generated

H2O 2SLM, TEOS 600 SCCM (Max.)

Operating pressure

Max. 1.33kPa

Source tank volume

2.7L

Heat regulation method

PID control by the heat regulator

Liquid surface detection method

Floating switch

Internal mass flow controller

SEC-8400 series

Air pressure valve

Bellows type

Materials in liquid connection and gas contact area

SUS316L, PFA

Operating Temperature

20 to 35°C

External input

Air pressure valve open/close, mass flow controller flow rate setting signal (0 to 5 V DC/0 to 100% F.S.), emergency stop signal, auto zero signal (option)

External output

Temperature alarm, liquid level H.H. alarm, liquid level signal (H, M, L), READY signal, mass flow controller flow rate output signal ((0 to 5 V DC/0 to 100% F.S.), thermoregulated bath internal fan stop alarm, valve voltage monitor (option)

Power source

AC 100 V, single phase 50/60 Hz, 1.5 kVA

Other

Auto-recharge system: Can be connected to LU series.

  

* The flow rate control range varies with the type of liquid.

* SCCM and SLM are symbols indicating gas flow rate (mL/min, L/min at 0°C, 101.3 kPa).

 

外形尺寸

光伏制造过程的过程控制与现场测量
光伏制造过程的过程控制与现场测量
用于实验室研究与测试的液体源蒸发与供应
用于实验室研究与测试的液体源蒸发与供应

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