Pour déterminer la qualité de vos résultats, vous devez examiner plusieurs critères. Commencez par vérifier la valeur du χ2 afin de déterminer l'adéquation du modèle aux données. Comparez ensuite les résultats visuellement, vérifiez si l'ajustement est raisonnable et physique, examinez les barres d'erreur des valeurs obtenues et examinez la matrice de corrélation. Si les barres d'erreur sont grandes ou si la matrice de corrélation présente de fortes corrélations, par exemple, il peut y avoir un problème avec votre modèle. Un autre indicateur d'un bon ajustement est la convergence rapide de l'algorithme d'ajustement, ce qui suggère que l'ajustement est unique.
Généralement, pour un film mince monocouche simple, une valeur de χ2 d'environ 1 est très bonne. À mesure que les échantillons deviennent plus complexes, les valeurs de χ2 augmentent. Pour un échantillon complexe, un χ2 allant jusqu'à 10 ou plus est acceptable, à condition que tous les autres résultats soient physiques et raisonnables. Gardez à l'esprit que même si la valeur de χ2 est faible, les résultats peuvent ne pas être physiques ou raisonnables ; il est donc important de vérifier également la qualité des autres critères d'ajustement.
Si vous constatez de fortes corrélations, ajoutez toutes les données supplémentaires dont vous disposez, qu'il s'agisse de données prises sous différents angles d'incidence ou de données de réflectance/transmittance. Vous pouvez également identifier les paramètres corrélés et vérifier s'ils doivent être ajustés simultanément. Dans le cas contraire, il est possible d'en corriger un, si cela est pertinent pour le modèle.
Chaque fonction de dispersion est utilisée pour un type de matériau spécifique. Par exemple, une fonction de dispersion de Drude est couramment utilisée pour les films métalliques, et une fonction de dispersion de Lorentz pour les films transparents ou faiblement absorbants. Pour obtenir la liste de toutes les fonctions de dispersion utilisées dans le logiciel DeltaPsi 2, ainsi que les types de matériaux pour lesquels elles sont utilisées, veuillez nous contacter par courriel à info-sci.fr(at)horiba.com.
Les fonctions de dispersion les plus couramment utilisées incluent Cauchy et Lorentz (classique) pour les films transparents ou faiblement absorbants, amorphes, nouveaux amorphes et Tauc-Lorentz pour les matériaux semi-transparents (diélectriques, polymères, semi-conducteurs absorbant dans le VIS/FUV) et Drude pour les métaux.