En général, une seule mesure d'angle suffit pour la plupart des applications. Si vos échantillons sont ultra-fins, l'angle de mesure choisi doit être proche de l'angle de Brewster du substrat afin d'obtenir une sensibilité optimale. Cependant, un angle d'incidence de 70° (proche de l'angle de Brewster du silicium) est généralement suffisant pour la plupart des autres applications, quel que soit l'angle de Brewster du substrat.
En général, prendre des mesures sous un seul angle d'incidence suffit pour la plupart des applications. Cependant, si l'échantillon est complexe (multicouche, granulaire, non uniforme ou très épais), il est conseillé de prendre des données sous deux ou trois angles d'incidence différents afin de maximiser la quantité de données et de réduire les corrélations entre paramètres et de faciliter la détermination des inconnues telles que l'épaisseur, les propriétés optiques, la granulométrie, l'hétérogénéité, etc.
Cuve à liquide sur support d'échantillon
Oui, l'ellipsométrie peut être utilisée pour mesurer des échantillons placés dans un liquide ou une interface solide/liquide. Nous proposons plusieurs accessoires de mesure de liquides pour ce type de mesure.
Les réflexions arrière peuvent être traitées mécaniquement avant la mesure, ou mathématiquement après. Pour les supprimer ou les bloquer mécaniquement, vous pouvez essayer de rendre rugueuse la face arrière de l'échantillon, d'utiliser un masque pour bloquer le faisceau réfléchi par la face arrière, ou de réduire la taille du faisceau afin de mieux séparer les faisceaux réfléchis avant et arrière, et ainsi de ne collecter que le faisceau réfléchi avant.
Si vous ne parvenez pas à éliminer ou à bloquer mécaniquement les réflexions arrière, celles-ci peuvent être incluses dans la mesure, mais il faudra alors en tenir compte lors de la modélisation de l'échantillon après la mesure. Le HORIBA DeltaPsi 2 Ce logiciel permet d'intégrer facilement les réflexions arrière pour une modélisation simplifiée.
Oui, si vous possédez un goniomètre manuel ou automatique capable d'atteindre 90°, vous pouvez utiliser l'ellipsomètre pour mesurer la transmission sous incidence normale et la réflectance sous un angle oblique. Si vous possédez un système à angle fixe, vous pourrez effectuer des mesures de réflectance sous cet angle, mais vous devrez utiliser l'accessoire de transmission pour obtenir ces mesures.
Si vous souhaitez mesurer la réflectance à une incidence proche de la normale, nous proposons également un accessoire de module de réflectométrie qui vous permettra de le faire.
Oui, vous pouvez collecter des données de réflectance sous un angle (généralement entre 45 et 75 degrés), mais pas à une incidence quasi normale. Le module de réflectométrie vous permettra toutefois de mesurer la réflectance sous une incidence quasi normale.
Exemple de mesure par cartographie 3D
Oui. Pour réaliser la cartographie, vous aurez besoin d'une platine de translation XY automatique. Le logiciel DeltaPsi 2 peut fournir des cartes 2D et 3D des épaisseurs et des propriétés optiques obtenues.
Nous proposons de nombreux accessoires permettant différents types de mesures. En voici quelques exemples :
