VAPBOX Series

アドバンスドダイレクトインジェクションシステム

VAPBOX Seriesは、独自のパルスインジェクションによる気化・霧化技術と最適化された
ヒーティングチャンバにより、高信頼性と高い再現性を持った液体材料の気化システムです。
これにより、低蒸気圧材料、溶剤中の固体材料、熱分解しやすい液体材料等の気化が可能です。また、常温あるいは常圧におけるミスト発生・供給も可能です。 

 

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Fluid Control System
製造会社: HORIBA STEC, Co., Ltd.

販売対象地域:
日本
詳細.

 

  • デュアルインジェクションバルブによる効率的な気化
    ２タイプのインジェクションバルブで、パルス制御を行い、キャリアガスとともにファインミストを発生させます。
  • クーリングインジェクタ
    プリカーサは、ヒートシンクとファンにより、ミキシングエリアにて常温に保たれ、予備加熱による熱分解を低減します。
  • オープンループ制御・クローズループ制御が可能
    例　オープンループ制御：ALD用途として、高い頻度でのバルブ直接開閉制御
    クローズループ制御：連続発生用途として、液体流量制御
  • 高温のヒーティングチャンバにより、低蒸気圧材料の気化に有効(Max300度 Vapbox 1500)
  • ノンコンタクトベーパライゼーションでヒーティングチャンバでの詰まり低減・気化効率が向上
    ヒーティングウォールにコンタクトしない気化は、低蒸気圧材料、溶剤中の固体材料、熱分解しやすい材料などの気化に有効です。
  • イージーメンテナンス

 

 

 

 

配管接続

VAPBOXは、流路に対して、垂直方向に設置してください。
固体材料は、十分に溶媒に溶解させてください。

仕様選定チェックシート

お客様のご要望にマッチした最適なソリューションをご提案させていただくために、おわかりになる範囲で結構ですので、以下の項目を事前にご確認ください。

材料情報

  • 材料名
  • CAS ナンバー
  • 化学式
  • 分子量［g/mole］
  • 材料供給メーカ
  • 比重
  • 粘性
  • 水分との反応性
  • O2との反応性
  • 熱分解温度［℃］
  • 溶媒名
  • 溶媒中の材料濃度［mole/liter］
  • 蒸気圧曲線

気化コンディション

  • プロセスチャンバ圧力
  • ヒーティングチャンバ加熱温度［℃］
  • 最少液体材料発生量［g/min］
  • 最大液体材料発生量［g/min］
  • キャリアガス名［N2、Ar、He、…］
  • 最少液体材料発生量における最少キャリアガス流量

プロセス情報

  • プロセス名［ALD、CVD、MOCVD、PECVD、APCVD、etc…］
  • バッジ／枚葉処理

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Liquid Source Vaporization and Supply in Research and Testing Laboratories
Liquid Source Vaporization and Supply in Research and Testing Laboratories
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〈カタログ〉VAPBOX Series

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