電子デバイス産業クリーンルーム内の分子状汚染物質監視
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| 測定成分 | 大気中のオゾン（O3） |
| 測定レンジ | 0 〜0.1/0.2/0.5/1.0 ppm オプション：0 〜0.1/10 ppm の間で最大レンジ比10 倍5 レンジ以内 自動レンジ切替、外部切替可（オプション） |
| 最小検出感度 | 0.2 ppm レンジ以下：0.5 ppb（2 σ） 0.2 ppm レンジ超：フルスケールの0.5%（2 σ） |
| 繰返し性 | フルスケールの±1.0％ |
| 直線性（指示誤差） | フルスケールの±1.0％（標準レンジ） |
| ゼロドリフト | 0.2 ppm レンジ以下：±2.0 ppb/日 ±4.0 ppb/週 0.2 ppm レンジ超：フルスケールの±1.0%/日 フルスケールの±2.0%/週 |
| スパンドリフト | フルスケールの±2.0％/日 フルスケールの±4.0％/週 |
| 周囲温度変化に対する安定性 | 周囲温度範囲内5℃変化でドリフトを満足する |
| 応答時間 | 装置入口より90%応答 120秒以下 |
| 干渉影響 | 水分（25℃ 80%）にて 0.2 ppm レンジ以下：±2.5 ppb 0.2 ppm レンジ超：フルスケールの±1.0% トルエン1 ppm にて 0.2 ppm レンジ以下：±2.5 ppb 0.2 ppm レンジ超：フルスケールの±1.0% |
| 試料ガス採取流量 | 約0.7 L/min |
| 補助ガス | なし |
| 表示 | タッチパネル式LCD（バックライト付、有効桁数4 桁）、測定値、レンジ、アラームなど |
| アラーム | 校正エラー、バッテリーエラー、オゾン分解器温度エラー、光量エラー、電源断など |
| 入出力 | 0 〜 1 V（瞬時値および1 時間平均値（積算値）または平均値の2 系統） 接点入出力（レンジ、外部リセット、テレメータ故障、アラームなど） RS-232C（オプション） |
| 周囲温度・湿度 | 0 〜 40℃ 相対湿度 85％以下 |
| 外形寸法 | 430 (W) × 550 (D) × 221 (H) mm |
| 質量 | 約15 kg |
注記：上記仕様は環境大気常時監視マニュアルおよび JIS に準拠しています。
外形寸法図・他（単位：mm）
