VACUUM2025真空展
■日時：12月3日（水）- 12月5日（金）10：00～17：00
■会場：東京ビッグサイト 南ホール HORIBAブース V-73
～チャンバー内を見ませんか？～
真空チャンバー内の異常検知、装置コンディション維持に貢献できる機器・技術をご紹介します。
このような課題をお持ちの方におすすめです！
・製品の品質のばらつきの極少化のために真空チャンバー内の状況・異常を見たい
・半導体製造装置のメンテナンス時期の把握によるダウンタイムの短縮を図りたい
・エッチングプロセスのエンドポイント検出によりスループット向上を目指したい
■日時：12月4日（木）13：30~14:10
■会場：東京ビッグサイト南ホール内 出展者セミナー会場D [セミナーNo.D-10］
四重極形質量分析計 Micropole System QL Series
真空チャンバーのコンディション管理やプロセスモニターに最適です。
プラズマを利用した薄膜プロセスにおいて、エンドポイントの検出やプラズマのコンディション管理に最適です。
材料やプロセスに応じて100 ℃～ 200 ℃の間で
最適温度の設定が可能です。
真空チャンバー内の温度を非接触でリアルタイムに把握し、
プロセスの安定化に貢献します。
■堀場エステック：V-73
皆様のご来場を心よりお待ちしております。
