液体材料気化システム MI-1000/MV-1000 series

Mixed Injection System Liquid Vaporizers MV-1000

Mixed Injection System Liquid Vaporizers MI-1000

純水や液体材料を気化（ガス化）する気化システムです。キャリアガスを用いた気液混合方式により液体材料を瞬時に気化します。
システム構成として、液体材料の流量計測を行う"液体マスフローメータ"、キャリアガスの流量制御を行う"マスフローコントローラ"および気化システム"MI/MV"を基本構成とし、お客様のご用途に応じて、バルブ、フィルター、加温ヒーターなどの機器をシステムアップします。

事業セグメント: Semiconductor

製品分類: Fluid Control

製造会社: HORIBA STEC, Co., Ltd.

気液混合気化方式により、高沸点液体材料の安定気化が実現
高効率気化方式により、自己分解材料の安定気化が実現
低温度・大流量発生が可能
コンパクトな気化システムの構築が行え、理想的なレイアウトデザインが可能
RoHS指令対応

システム構成例

液体材料気化システムをトータルにサポート

プロセスに応じた液体材料気化システム（インジェクション方式、ベーキング方式）へ、液体材料マザータンクから安全に迅速に液体材料を自動供給する総合的なシステムをご提供しています。

液体材料を“安全に”“無駄無く”“迅速に”気化システムへ自動に供給
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型式	MI-1000	MV-1000
対応液種	HCl.HF等のステンレスを腐蝕する液体を除く
接ガス部材質	SUS316L,PFA
設定温度	Max 140℃	Control Valve: Max 140℃ Vaporizer: Max 200℃
使用温度センサ	熱電対 K タイプ(CA)	熱電対 K タイプ(CA)
リーク規格	1×10^-8 Pa·m³/s (He) 以下
内部リーク規格	1×10^-6 Pa·m³/s (He) 以下
標準継手	液体入口:1/8VCR タイプ Male、ガス入口:1/4VCR タイプ Female、ガス出口:1/4VCR タイプ Male	液体入口:1/8VCR タイプ Male、キャリアガス入口:1/4VCR タイプFemale、ガス出口:1/2VCRタイプ Male
使用可能周囲温度	15℃ 〜 50℃	15℃ 〜 50℃
耐圧	1.0MPa (G)	1.0MPa (G)
オプション	空圧弁(内部リーク規格：1×10^-9 Pa·m³/s (He) 以下)