EV-140C Series

Optical Emission Spectroscopy Etching End-point Monitor EV-140C

プラズマ発光モニタ

プラズマを利用した半導体薄膜プロセスにおいて、エンドポイントの検出またはプラズマのコンディション管理を行うための、発光分析方式のエンドポイントモニタです。
新開発のアルゴリズム“Rupture Intensity”により微弱な信号変化から的確にエンドポイントを検出できます。
微弱な発光変化を捉えるため、感度を大幅に改善。
またノイズ耐性を向上させることにより、24時間稼動する製造ラインの過酷な環境化で高い安定動作を確保します。

製造元:株式会社堀場製作所

 

事業セグメント: 半導体
製品分類: Dry Process Control
製造会社: HORIBA, Ltd.
  • 開口比 F/2の明るいグレーティングを採用
     
  • 2048Ch 高感度高分解能 裏面入射型CCD ラインセンサ搭載
     
  • 高度なプロセスコントロールを実現するソフトウェア Sigma-P
     

デモンストレーションをご希望されるお客様へ

弊社ではお客様のシステムとマッチし安心してご採用いただく目的にEV-140C一式をお貸出いたします。
お手数ですが、下記のアイコンをクリック頂き必要事項を入力してください。
弊社担当者より、ご希望日や必要なシステムなどのご確認をさせていただきます。

 

 

 

●センサ部

分光器
波長範囲200-800nm
光学分解能<2.0nm @λ=200-500nm
<2.5nm @λ=500-700nm
(FWHM理論分解
光学ベンチ
デザインフラットフィールド収差補正型ポリクロメータ
焦点距離140mm
高次光カットフィルター内蔵
検出器
CCDタイプ裏面入射型CCDリニアイメージセンサ
素子数2048 × 64
A/D分解能16ビット
露光時間制御20mSec〜2.5Sec
(10mSec ステップの設定)
一般仕様
測定光入力光ファイバ入力
センサユニットサイズ137(W)×156(H)×257(D)mm
センサ部質量4.0kg
接続チャンバ数1ch
電源仕様DC24V±10%
消費電力12VA
動作環境温度15-35℃
保存環境温度0-50℃(結露なきこと)
動作/保存湿度<80%RH@25℃(結露なきこと)
LCD表示実行ステータス/センサーエラー/コントローラーエラー
冷却ファンDCファン
入出力
◎アナログ出力(レシピに従った演算結果をリアルタイム出力します。)
出力ポート数2チャンネル
電圧出力0-5VDC
◎デジタル出入力(外部リモートプロトコルによるレシピ設定およびエンドポイント出力を行います)
デジタル出力PIO/DI=8Bit/DO=8Bit
外部汎用コネクタDsub25S
(パラレルIOポート、アナログ出力用)
コントローラインターフェースErthanet ×1ポート

●コントローラ(FAスペック コンピュータ)

サイズ197(W)×148(H)×250(D)mm
OSWindowsXP embeded(英語版)
CPUCeleron 1.3GHz
メインメモリ

1GB

ハードディスク80GB
外部インターフェース・Ethernet×2
・RS-232C×2
電源仕様AC90-264V 50/60±3Hz

 

●外部リモートプロトコル

リモートプロトコルパラレルI/O/RS232Cシリアルプロトコル
*LAN接続については別途対応

 

●認証

準拠規格CE/FCC

 

●アクセサリ

光ファイバ
ファイバ仕様合成石英ファイバ
外部ファイバグレードVIS用/紫外光耐光用(2種類から選択)
ファイバ長2m/5m (2種類から選択)

 

●オプション

AC電源ユニット
電源入力AC90-264V 50/60±3Hz
電源出力DC24V 2A出力
集光光学系
チャンバアダプタ集光レンズユニット
PCアクセサリ
PCアクセサリLCDモニタ/キーボード/マウス
PC用バッテリオプション
UPSコントローラPC専用 無停電電源

 

 

Process Control and In-situ Measurement for Photovoltaic Manufacturing Process
Process Control and In-situ Measurement for Photovoltaic Manufacturing Process

お問い合わせ

* 項目は必ずご記入ください。

HORIBAグループ企業情報