LSC Series

コンパクトベーキングシステム

純水をはじめとした様々な液体材料をガス化し、任意の流量に制御し供給するシステムです。微少流量から大流量まで、安定した気化が可能です。気化発生時にも液体材料を気化タンクへ供給し、長時間の連続発生を可能としています。

事業セグメント: Semiconductor

製造会社: HORIBA STEC, Co., Ltd.

発生流量	H2O 2SLM、TEOS 600SCCM(max)
使用圧力	max：1.33kPa
ソースタンク容量	2.7L
温調方式	温調器によるPID制御
液面検出方法	フロートスイッチ
内蔵マスフローコントローラ	SEC-8400 Series
空圧弁	ベローズタイプ、ダイヤフラムタイプ
接液・ガス部材質	SUS-316L、PA
使用周囲温度	20〜35℃
外部入力	空圧弁開閉マスフローコントローラ流量設定信号(0〜5VDC/0〜100％F.S.) 非常停止信号、オートゼロ信号(オプション)
外部出力	本体予熱完了信号温度アラーム液レベルH.H.アラーム液レベル信号(H、M、L) マスフローコントローラ流量出力信号(0〜5 VDC/0〜100%F.S.)　恒温槽内部ファン停止アラームバルブ電圧モニター(オプション)
電源	AC 100 V 単相50/60 Hz 1.5 kVA
その他	オートリチャージシステム：LU seriesとの接続が可能です。