Micropole System QL series

四重極形質量分析計

Micropole systemは世界最小クラスの質量分析計です。９つの四重極部で構成される独自構造のセンサは、ユーザ自身で簡単に交換可能、センサに付随するパラメータを入力するだけで校正は必要ありません。一般的な質量分析計よりも低真空（高圧）領域で動作し、追加の設備が不要です。真空チャンバのコンディション管理やプロセスモニターに最適です。

事業セグメント: 半導体

製品分類: Dry Process Control

製造会社: HORIBA STEC, Co., Ltd.

業界最小クラス
他社比20分の1の大きさ、センサ部わずか5cmのサイズ。装置組み込みに最適です。
独自構造センサ
16本の電極ロッドによる9つの四重極部を備え、最小サイズながらも高感度を実現。
低真空（高圧）動作
全圧0.5Paまでの計測（2-65 m/zセンサの場合）ならば、追加で差動排気システムを準備する必要がありません。
ユーザーによるセンサ交換が可能
機器の分解を必要とせずに、校正されたフィルターを現場で簡単に交換できます。
通信
付随する専用ソフトウェアをインストールした1台のPCからRS-485通信を介して、8台まで接続可能です。また、装置組み込みに適したアナログ入出力も備えています。
専用ソフトウェア
QL-SG02向けに開発されたユーザーフレンドリーなMicropole ScannerTM 2ソフトウェアは、QL-SG02制御、データの取得・可視化・分析が可能です。

ユーザーメリット

測定原理

四重極形質量分析計のセンサはイオン源、質量フィルター部、イオン検出部からなります。フィラメントから放出された熱電子がガス分子と衝突しイオン化され、フィルター部に向かって加速されます。フィルター部では、四重極ロッドに直流成分と交流成分が重畳された電圧が印加され、それらの値に応じて四重極ロッド中に形成された電場を通過出来るイオンの質量電荷比が決まります。通過したイオンは検出部に到達し、電流信号として計測され、電圧を走査する事で、質量スペクトルが得られます。

MICROPOLE^TM 分析計

MICROPOLE分析計に搭載されるセンサ（MPA）の一番の特徴は、高精度なガラス加工技術を用いた９つの四重極形を集積した構造です。一般的な四重極形センサと比べて、感度を維持しながらも、世界最小サイズを実現しています。校正済みのセンサはプラグイン方式で簡単に交換可能です。

アプリケーション

チャンバーコンディションモニター

四重極形質量分析計は、真空チャンバーの残留ガス分析で多くの実績があります。特にメタルのスパッタプロセスでは、成膜中の酸素や水分の残留ガスを低減する事が重要であり、一度チャンバーを大気解放してしまうと、それらのガスを低減させるのに時間がかかります。四重極形質量分析計はチャンバーの状態を監視するのに大変役立ちます。