Size:
1.89
MB
〈カタログ〉Micropole System QL-100 Series
Micropole System QL-100 Series 仕様一覧
Micropole System QL-100 Series
四重極形質量分析計
Micropole System QL-100 Seriesは、世界最小クラス*¹のコンパクトな質量分析システムです。独自構造のセンサはユーザー自身で交換可能で、プロセス休止期間の短縮と長寿命化による省資源化に貢献します。差動排気システムを必要とせず、低真空条件下でも高精度なモニタリングが可能です*²。
*¹ 2026年8月時点 当社調べ
*² 弊社従来品の測定上限圧力：0.5 Pa QL-100 Seriesの測定上限圧力：10 Pa
・世界最小クラス*¹と独自構造の四重極センサ
Micropole System QL-100シリーズは、センサとスペクトラムジェネレータで構成されます。
組み合わせた状態でも全長は約220 mmとコンパクトです。センサ内部構造には16本のロッドを採用し、感度を向上させています。
*¹ 2026年8月時点 当社調べ
・測定上限圧力10 Paを実現
新技術の採用により、圧力計と弊社外部入出力ケーブルで接続することで、測定上限圧力10 Paを実現し、より幅広いプロセスで使用可能です。
・センサの長寿命化
腐食性ガス環境下におけるフィラメント寿命を延ばすためにセンサを改良しました。
アプリケーション
プロセスガスモニタリング
プロセス中のチャンバ内ガス挙動を監視する用途
- リアルタイム測定可能
- 非プラズマ環境にてチャンバ圧力が10 Pa未満の場合、QL-100をチャンバに直接取り付けて測定でき、タイムラグを低減
