PLATO Series

特長：

• 全自動フォトルミネッセンスマッピングシステム
• 短期間のトレーニング－約90分以内の操作習得を実現
• Stand-alone program （ライセンス制限無し）－測定データをオフライン閲覧・共有が可能
• 複数台使用時、大幅な改造調整無しでの装置間バラつきや測定ムラを低減可能
• MTBF > 1,000時間 / 連続稼働時間 > 95%
• 2インチ、3インチ、4インチ、6インチ、8インチ、12インチ ウェハサイズに対応
• HORIBAのグローバルに渡るサポート体制
• PLATO-300ではFOUP、SMIF、およびオープンカセットが利用可能

ソフトウェア

• Stand-alone programは、ライセンスキー付きで外部PCにインストール可能
• 生データを用いたデータ再処理機能により再測定無しで波長範囲やピーク抽出条件を変更し再計算できる
• テンプレートベースのExcel/CSVエクスポート機能搭載
• 自動波長校正機能により長期安定性と再現性を担保
• SECS/GEM, E84, GEM-300に対応
   

アプリケーション

GaN パワーデバイス

• Al組成マップ
  - 266 nmパルスレーザー：標準装備
  - 213 nmパルスレーザー：オプション
   

• BE/YL比マップ
  - GaNチャネルの結晶品質
  - 355 nm 励起用レーザー

　_{BE：バンド端発光　YL：黄色発光}

VCSEL

• 分布反射型光源
  - ハロゲンランプの光源劣化の影響を最小限に抑えるため、絶対鏡面反射鏡を用いて各測定ごとに照合を実施
   

InGaAsP & ガスセンサー

• PL用励起レーザー
  － 連続波 532、785、980、1064 nm レーザー波長範囲
  －InGaAsアレイCCD 1.7：900-1700 nm
  －InGaAsアレイCCD 2.2：1200-2200 nm分光器のN2パージシステムにより、大気中の水蒸気の影響を最小限に抑制

　_{PL：フォトルミネッセンス}