Smart SE

SmartSE-HORIBA

Powerful and Cost Effective Spectroscopic Ellipsometer

HORIBA Scientific의 Smart SE는 빠르고 정확한 박막 측정을 위한 다목적 분광 타원계입니다. 몇 옹스트롬에서 20μm까지의 박막 두께, 광학 상수(n,k), 박막 구조 속성(예: 거칠기, 광학 등급 및  anisotropic layers 등)을 특성화합니다.

450~1000nm의 스펙트럼 범위는 몇 초 만에 측정되고, 타원 측정 데이터는 DeltaPsi2 소프트웨어 플랫폼을 사용하여 분석됩니다. 이 소프트웨어는 두 가지 수준의 소프트웨어를 통합하여 사전 정의된 레시피를 통한 일상적인 분석과 최첨단 타원 측정 모델링을 통한 고급 분석 모두 수행합니다.

Smart SE 엘립소미터는 뛰어난 기능의 박막 R&D 도구이며 연구 등급 성능을 제공합니다. 정확한 spot positioning을 위한 통합 비전 시스템, 작은 기능 측정을 위한 수십 미크론 크기의 자동화된 마이크로 스폿 7개, 전체 16개 요소로 구성된 Mueller 매트릭스를 단 몇 초 만에 측정할 수 있는 소프트웨어를 제공합니다. 복잡한 샘플의 연구도 가능합니다.

Smart SE의 유연한 설계는 샘플 스테이지와 각도계의 완전한 자동화는 물론 공정 챔버에서의 현장 사용이 가능하게 합니다. 그것은 마이크로 전자, 광전지, 디스플레이, 광학 코팅, 표면 처리 및 유기 화합물을 포함한 다양한 응용 분야에 대한 어플리케이션을 지원합니다.

Segment: Scientific
Manufacturing Company: HORIBA France SAS
  • Fast & accurate
  • Easily upgradeable
  • Visualization of your spot sample
Standard Configurations
Spectra range:450nm to 1000nm
Spectra resolutionBetter than 3nm
Light sourceCombined Halogen and Blue LED
Measurement time<1sec to 10 sec
Beam size

75µm * 150µm, 100µm * 250µm,

100µm * 500µm, 150µm * 150µm,

250µm * 250µm, 250µm * 500µm,

500µm*500µm

Angle of incidence450 to 900 by step of 50
Sample sizeUp to 200mm
Sample alignmentManual 17mm height adjustement and tilt
Dimensions100cm * 46cm * 23cm(W*H*D)
Performances
Straight-through air accuracyΨ=450±0.050 Δ=00±0.20
Thickness accuracy on 1000 Å Oxide0.04%
Thickness repeatability on 1000 Å Oxide±0.02%

 

 

Options

  • Automated angle of incidence from 450 to 900 by step of 0.010
  • In-situ adjustable flanges for mounting on process chamber
  • Heating and cooling stages
  • Liquid and electrochemical cells
  • Cross hair auto-collimation system

제품 문의

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