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A elipsometria espectroscópica é uma técnica óptica não destrutiva, não intrusiva e sensível à superfície, amplamente utilizada para a caracterização de camadas finas e superfícies. Ela se baseia simplesmente na mudança do estado de polarização da luz ao ser refletida obliquamente por uma amostra de filme fino. Dependendo do tipo de material, os elipsômetros espectroscópicos podem medir espessuras de alguns Å a dezenas de micrômetros. É também uma excelente técnica para a medição de múltiplas camadas.
A elipsometria espectroscópica permite caracterizar uma série de propriedades de filmes finos, como espessura da camada, propriedades ópticas (n,k), gap de banda óptica, espessura da interface e rugosidade, composição do filme, uniformidade em profundidade e área, e muito mais.
Os materiais adequados para elipsometria espectroscópica incluem semicondutores, dielétricos, polímeros, compostos orgânicos e metais. A elipsometria também pode ser usada para estudar interfaces sólido-líquido ou líquido-líquido.
Os elipsômetros espectroscópicos HORIBA utilizam tecnologia inovadora para realizar medições de modulação de polarização de alta frequência sem qualquer movimento mecânico, proporcionando assim uma caracterização mais rápida, de maior alcance e com maior precisão em comparação com os elipsômetros convencionais.
Elipsômetro espectroscópico do ultravioleta extremo ao infravermelho próximo: 190 a 2100 nm
Elipsômetro espectroscópico para medição simples de filmes finos
Elipsômetro espectroscópico potente e econômico
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