UVISEL Plus

Elipsômetro espectroscópico do ultravioleta extremo ao infravermelho próximo: 190 a 2100 nm

Elipsômetro de referência para medições de filmes finos

O elipsômetro UVISEL Plus oferece a melhor combinação de modularidade e desempenho para caracterização avançada de filmes finos, superfícies e interfaces.

Baseado na tecnologia de modulação de fase, o elipsômetro UVISEL Plus oferece um design óptico robusto para cobrir continuamente a faixa espectral de 190 a 2100 nm. Dados de alta qualidade são fornecidos em toda a faixa espectral em termos de alta precisão, medições de alta resolução e excelente relação sinal-ruído.

A tecnologia de modulação de fase caracteriza mudanças de polarização em alta frequência (50 kHz), sem qualquer movimento mecânico. O resultado é:

• Medições de alta precisão para todos os valores de (Ψ,Δ)
• Excelente relação sinal/ruído do FUV ao NIR
• Velocidade de aquisição de dados muito rápida, de até 50 ms/ponto, ideal para estudos cinéticos e medições in situ em tempo real.
   

O elipsômetro de modulação de fase UVISEL Plus alcança maior sensibilidade e precisão na caracterização de filmes finos quando comparado a elipsômetros convencionais que utilizam elementos rotativos. Ele permite a detecção de filmes ou interfaces muito finos que nenhum outro elipsômetro consegue visualizar, bem como a caracterização de camadas espessas de até 50 µm. A medição e a caracterização de amostras transparentes com reflexões na face posterior são simples e precisas, sem a necessidade de riscar a superfície.

Projetado para oferecer maior flexibilidade em medições de filmes finos, o UVISEL Plus oferece microspots para amostras padronizadas, ângulo variável, estágio de mapeamento automático e uma variedade de acessórios, tornando-o escalável para atender a todas as suas necessidades de aplicação e orçamento.
O design modular do UVISEL Plus permite que ele seja usado tanto como uma ferramenta de metrologia de bancada quanto para integração in situ em câmaras de processo ou máquinas rolo a rolo.

O UVISEL Plus é controlado pela plataforma de software DeltaPsi2 ou pela interface Auto-Soft, comuns a todos os elipsômetros HORIBA. O DeltaPsi2 oferece um pacote completo de medição e modelagem, permitindo lidar com aplicações de filmes finos tanto rotineiras quanto avançadas, enquanto a interface Auto-Soft apresenta um fluxo de trabalho intuitivo para agilizar a coleta e análise de dados.

The UVISEL Plus is the most versatile spectroscopic ellipsometer for thin film thickness and optical constant measurements in the fields of materials research and processing, flat panel displays, microelectronics and photovoltaics.

O UVISEL Plus é considerado um elipsômetro de referência para ciência de materiais de ponta.