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二维材料

二维材料被定义为由单层晶胞构成的晶体材料。特别是石墨烯和过渡金属二硫属化物(TMDCs)作为新一代半导体材料备受关注。当用作半导体时,由于其晶体结构和结晶度会极大影响性能,因此精确的结构分析至关重要。
 


结构分析  |  薄膜厚度与质量  |  晶体缺陷分析  |  异物检测/分析

结构分析

薄膜厚度与质量

在通过微型化推进薄膜技术发展的过程中,我们提出了实现高精度薄膜沉积控制的解决方案,例如在薄膜沉积过程中进行原位评估,以及对埃米级薄膜的评估。


使用椭偏仪获取的薄膜信息

晶体缺陷分析

在高速通信半导体器件中,减少缺陷并精确控制杂质已变得愈发重要。我们将通过分析案例对此进行说明。

异物检测/分析

晶圆缺陷也可能由异物引起,我们将介绍一种微观元素分析方法来识别缺陷成因。

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