IT-470F-H

Thermomètre infrarouge haute précision [type intégré]

Thermomètre de haute précision, leader du secteur*

L'IT-470F-H est un thermomètre infrarouge sans contact intégré, offrant une précision inégalée*. Il contribue à améliorer la stabilisation des procédés nécessitant une mesure de température de haute précision, comme la production de semi-conducteurs et d'écrans plats.

 

Résultats d'une étude interne de 2025

 

  • Précision de mesure absolue élevée ±0,1°C* et répétabilité supérieure (2σ) de 0,1°C*.

*Valeur réelle, dans les conditions données.

Application

Pour la production de semi-conducteurs et d'écrans plats, qui exige une mesure de température de haute précision

  • Dans le cas où un suscepteur se trouve dans une chambre à vide
    La mesure de la température d'un suscepteur est possible depuis l'extérieur d'une chambre à travers la fenêtre.
  • Dans le cas de la mesure de la température de surface d’un substrat à cristaux liquides dans le procédé de production FPD.
    En tant que mesure sans contact, la surface n’est pas endommagée.
  • En cas de contrôle de température lors du polissage
    En tant que mesure sans contact, la surface n’est pas endommagée.

 

 

Longueur d'onde de mesure8 à 14 µm
Plage de température de mesure-50 à 200℃
Résolution de sortieSortie numérique optique : 0,1 °C ; courant de sortie ≤ 0,025 % de la pleine échelle
Précision*
(Sortie numérique optique)
±4,0℃ (Température de l'objet -50℃)
±0,8℃ (Température de l'objet -20℃)
±0,6℃ (Température de l'objet 0℃)
±0,5℃ (Température de l'objet : 23℃)
±0,4℃ (Température de l'objet 100℃〜)
(Une interpolation linéaire est appliquée aux points médians de la température de l'objet et les données interpolées sont arrondies à une décimale.)
Répétabilité
(Sortie numérique optique)
0,7℃ (Température de l'objet -50℃)
0,5℃ (Température de l'objet : 23℃)
0,5℃ (Température de l'objet : 200℃)
(Dans le cas d'une émissivité de 1,000, utiliser la valeur 2σ de 10 mesures)
Temps de réponse (sortie numérique optique)Sortie numérique optique : ≤ 1,4 s (moyenne glissante 1 s, à 95 % de réponse)
période d'échantillonnage des données0,1 seconde
Période de mise à jour de l'affichageSortie numérique optique : 0,2 s ; sortie de courant : 0,1 s
Diamètre de mesureΦ8mm/Distance 150mm (quantité de lumière incidente 90%)
Réglage de l'émissivitéValeur réglable de 0,001 à 1,000 (réglage d'usine)
Température et humidité de fonctionnement0 à 55℃, 35 à 85 % HR (sans condensation)
Pouvoir24 V CC ±5 %
FonctionSortie numérique optique (JIS F05) Sortie de courant 4 à 20 A (Résistance de charge 100 Ω, non isolée)
Dimensions55×44×96mm Câble d'alimentation et de courant inclus (longueur standard 2m)
Masse≤300 g

*Conditions : Température de fonctionnement de 24 à 29 ℃ (température de fixation incluse), humidité 55 ± 20 %, réglage de correction d'émissivité 1,000.

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