CRITERIONTMシリーズは新たに開発した「層流域差圧検出方式」により流量精度の向上を図りました。新方式の層流域差圧検出では、導入される全てのガスがフローリストリクタを通過し、その前後に発生する圧力差を流量に換算します。この新方式では、フルスケール(F.S.)流量近くの流量計測時では、発生する圧力差が大きくなり、低流量域では小さくなりますが、圧力・流量に関して非直線特性を持つリストリクタの開発に成功し、低流量域における流量精度の向上が実現しました。プロセスガスの実流量精度を目的に、プロセスに使用されるガスの流量を本社：開発、米国：R＆Dセンターが管理する「精密流量計測システム」により計測しています。ガス計測においては、圧力・温度・流量の相関を各々のプロセスガスに対して5万ポイント以上の計測を行い一元化したデータベースをもちいて運用、ガス毎の最適補正係数を算出しCRITERIONTMへインストールしています。また新開発のリストリクタはソニックノズル方式と比べ臨界圧力条件を満たす必要がなく、真空から大気圧以上の圧力条件での使用が可能となります。プロセスガス流量の高精度計測を実現すべく、計測方式・デバイス、豊富な実ガスデータに基づく流量補正係数と共にマスフローモジュール性能を最大限に引き出す制御部を搭載。次世代プロセスの高精度流量制御に対応した流量制御モジュール「CRITERIONTM」が誕生しました。
