よりシビアな成膜プロセスにおいて材料供給の高精度化はもちろん、高速応答性も重要なファクターになっています。CRITERIONTMの高速応答性能は、デジタルMFCの高速応答を支えた最適な応答補正を瞬時に行う「Variable PIDアルゴリズム」(特許出願中)、高速センシング対応の「圧力センサ」、高安定・高速制御性を誇る「ピエゾバルブ」、条件変化にも的確に処理する「高速32bit CPU」、を高次に融合させ、低流量域からフルスケールまでの全流量域を正確かつ安定した高速応答性能を達成しました。高速応答：20％向上(弊社デジタルMFC応答速度比)を実現したマスフローモジュールです。
