液体材料気化システム MV-2000 Series

概要

純水や液体材料を気化(ガス化)する気化システムです。トルネードフロー方式による高効率気化により、低温度での安定気化を実現。半導体プロセスで使用される"液体材料:High-k材料など"の安定気化システムとして最適なモデルです。キャリアガス制御用マスフローコントローラと液体材料の流量計測用マスフローメータのセットアップで、高効率な気化システムが完成します。

特長

  • トルネードフロー方式による安定気化 
    高効率気化方式により、低温度での安定気化を実現。
    熱分解しやすい液体材料においても気化性能が向上。
  • トルネードフロー方式による大流量気化
    高効率気化方式により、当社従来品と同じ温度条件で大流量気化が可能。
    同じフットプリントでの大流量化により、新たなレイアウト変更が不要です。
  • コンパクトな気化システムの構築が行え、理想的なレイアウトデザインが可能
  • RoHS指令対応

製造会社: HORIBA STEC

仕様

型式

MV-2000

対応液種

HCl, HFなどのステンレスを腐蝕する液体を除く

設定温度

気化条件による(Control Valve : MAX.140℃ Vaporizer : MAX.200℃)

リーク規格

1 × 10-8 Pa·m3/s (He) 以下

内部リーク規格

1 × 10-6 Pa·m3/s (He) 以下

接ガス部材質

SUS316L, PFA

使用温度センサ

熱電対 Kタイプ(CA)

耐圧

1MPa (G)

標準継手

液体入口:1/8 VCRタイプMale, キャリアガス入口:1/4 VCRタイプFemale, ガス出口:1/2 VCRタイプMale

使用可能周囲温度

15 ~ 50℃

オプション

空圧弁(内部リーク規格: 1 × 10-9 Pa·m3/s (He) 以下)

 

 

  • 発生流量については、ご使用になる“液体材料”“発生量”“発生条件”等により違いが生じます。別途お打合せの上最適なモデルをご提案いたします。
  • 本体内部に加温ヒータ、温度センサ、スイッチを搭載しています。仕様については別途ご確認ください。

外形寸法図・他(単位:mm)

MV-2000 Series外形寸法図

測定原理

▶トルネードフロー方式とは

MV-2000 Seriesは螺旋形状のプレート(Tornado Flow System)を気化部内に導入しています。当社従来品(中空構造)より気化面積を増やすことにより、気化効率の向上を実現しました。

 

 XF:差圧式マスフローメータ

価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。
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