1.63
MB
Smart SE Brochure
| 測定方式 | 液晶変調方式 |
|---|---|
| 光源 | ハロゲンランプおよび青色LED |
| 波長範囲 | 450nm-1000nm |
| 分光器 | 迷光を最小に抑えた小型スペクトログラフ（分解能：3nm以下） |
| 検出器 | 高感度・高安定リニアＣＣＤ（2048ピクセル） |
| 入射角度 | 70度固定 （45度-90度の範囲より5度刻みで変更可） |
| スポットサイズ（70度入射時） | 75μm X 150μm, 100μm X 250μm, 100μm X 500μm,150μm X 150μm, 250μm X 250μm, 250μm X 500μm,500μm X 500μm ※いずれも長方形 |
| サンプルステージ | 直径200mmまでのサンプルに対応 Z軸：max.17mm（手動可変） |
| サンプル観察系 | イメージングシステム MyAutoViewTM
|
| 操作PC | デスクトップPC、TFTモニタ |
| ソフトウェア | 分光エリプソメータ測定およびデータ解析用DeltaPsi2 |
| 装置寸法（操作PC除く） | 装置本体：W840mm×D230mm×H340mm@70度入射 コントローラ：W302mm×D251mm×H130mm |
オプション
| 電動ゴニオメータ | 入射角度の電動可変（可変範囲：45度-90度） |
|---|---|
| 電動X-Yステージ | 200mmウェハ、もしくは 300mmウェハ対応 |
| In-Situ測定用アダプタ | プロセスチャンバー取付用フランジ |
| アクセサリ | 温度可変測定用ステージ、溶液測定用セル |
必要ユーティリティ
| 電源 | AC100V±5%未満 （標準消費電力：200W） |
|---|
