マスフローコントローラ（MFC）は、ガスの流量を高精度に制御できる機器です。
研究開発や各種装置で広く使われていますが、初めて導入する場合は、
といった点で迷うケースも少なくありません。
本記事では、MFCを使うために必要な機器や基本的な接続構成を、初心者の方にもわかりやすく整理してご紹介します。
導入や選定の前に、まず全体像をつかみたい方はぜひ参考にしてください。
マスフローコントローラ（MFC）は、流量を測定しながら制御する機器ですが、本体だけで完結するわけではありません。実際には、配管や電源、制御信号などを含めた構成で使用するのが一般的です。MFCを使うために必要な主なものは、次のとおりです。
つまりMFCは、単体で考えるのではなく、配管・電源・制御系を含めて考える必要があります。
なお、製品によっては電源や表示・設定機能を一体化したタイプもあります。その場合は、電源を接続し、配管をつなぐことで使用できるケースがあります。
※ガス用MFCの基本的な接続構成
マスフローコントローラ（MFC）は、主にガスの流れと電気信号による制御を組み合わせて使用します。
基本的な流れは、次のようになります。
このように、MFCは配管系と制御系の両方を接続して、はじめて流量制御ができるようになります。
図のように、一体型のコントローラを使用する構成では、ガスの流れと、制御の流れが視覚的に分かりやすく整理できます。
MFCの接続方法は用途によって異なりますが、基本的な考え方は共通しています。
たとえば、以下のような構成があります。
いずれの構成でも、MFCを使う際には、「どれだけ流すかを指示する」ことと、「実際にどれだけ流れているかを確認する」ことの両方が重要です。
MFCを正しく使うためには、ガスを流すだけでなく、流量を設定する仕組みと流量を確認する仕組みを理解しておく必要があります。
主に使われるのは、次の3つです。
たとえば、表示・設定ユニットを使う場合は、画面やつまみ、ボタン操作で流量を設定します。
一方、外部制御機器を使う場合は、PLCやPCから信号を送って流量を指定します。
また、出力信号を使えば、設定した流量だけでなく、実際の流量の確認や記録にも役立ちます。
装置制御や実験条件の管理を行う場合には、流量監視や記録が必要かどうか、事前に確認しておくと安心です。
MFCの構成は、使い方によって最適な形が異なります。
ここでは、よくある用途ごとに、構成のイメージを整理します。
| 使用シーン | 推奨構成の方向性 |
|---|---|
| まずは1台を試したい | 表示・設定ユニットで手動操作 |
| 装置に組み込みたい | PLCやPCなど外部制御 |
| 複数のガスを使いたい | 複数台のMFCを連携して制御 |
| 流量データを記録したい | 出力信号を外部機器で取得 |
たとえば、研究や評価でまず1台試したい場合は、表示・設定ユニット付きの構成が扱いやすい場合が多いです。
一方、装置へ組み込む場合は、外部制御との接続性が重要になります。
また、複数のガスを使う場合や、工程ごとに流量を切り替えたい場合には、複数台のMFCを一括で管理できる構成が便利です。
MFC本体だけでなく、電源・制御ユニットや接続方法まで含めて考えることが、失敗しない構成選定のポイントです。
MFCの構成を検討する際は、事前に以下の情報を整理しておくとスムーズです。
これらの条件によって、必要な電源、制御ユニット、配線方法、接続部品が変わります。
すべての項目が決まっていなくても問題ありません。
わかる範囲の情報があれば、用途に合った構成を検討しやすくなります。
▶選定フォームはこちら
MFCは、本体だけでなく、配管、電源、制御方法、出力仕様まで含めて構成を考える必要があります。
必要な機器が分からない、手動操作と外部制御のどちらがよいか迷っている、既存装置に接続できるか確認したい、といった場合は
構成の確認をおすすめします。
使用目的、流体、流量範囲、設置環境など、わかる範囲の情報をもとにご相談いただければ、用途に応じた構成をご提案できます。
何から確認すればよいか分からない場合でも、お気軽にお問い合わせください。
