マスフローコントローラ/メータ

流体の質量流量を計測または制御を行う機器です。

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D700uF

微細加工プロセスおける小流量域の制御に特化した高性能モデル

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D700T

独創的で高度な流量制御アルゴリズム・ツインバルブ構造を搭載した高性能モデル

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D700MG

100msecの高速応答と低流量での高精度を実現した高性能モデル

詳細

D700WR

ワイドレンジ制御と低流量での高精度を実現した高性能モデル

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DZ-100

10mm幅の最先端プロセス向け高性能モデル

詳細

D500

差圧検出方式を採用した最先端プロセス向け高性能モデル

詳細

SEC-Z700X Series

PI 性能を搭載した高性能モデル

詳細

SEC-Z700S Series

精度、再現性、応答性能、パーティクルレスを備えた高性能モデル

詳細

SEC/SEF-Z500X Series

ガス種・流量レンジの変更ができる機能を搭載したモデル

詳細

SEC/SEF-N100 Series

ワイドな流量制御範囲、選べる通信方式を持つ汎用モデル

詳細

SEC/SEF-E Series

サーマルセンサ、ソレノイドバルブを搭載した高精度なモデル

詳細

MF-C Series

MEMS技術を用いた小型流量センサを採用したコンパクトモデル

詳細

MF-F2 Series

MEMS技術を用いた小型流量センサを採用したコンパクトモデル

詳細

S48/S48M Series

生産設備から各種実験・評価システムに最適なエコノミーモデル

詳細

SEC/SEF-8000F/D/E Series

高温環境（120℃）までの環境で使用できる高温対応モデル

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FS-3000 Series

プロセスガスを任意の比率に分配するフロースプリッタ

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ガス種:
非腐食性ガス腐食性ガス混合ガス
フルスケール流量:
~2 SCCM~5 SCCM~10 SCCM~500 SCCM~50 SLM~100 SLM~200 SLM~500 SLM~1000 SLM
応答速度:
0.1秒以内0.5秒以内1秒以内
通信形態:
アナログ通信F-Net (RS485)通信DeviceNet通信EtherCAT通信Profibus通信CC Link通信
温度:
~45℃~50℃~60℃~120℃
リセット

D700MG

100msecの高速応答と低流量での高精度を実現した高性能モデル

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D500

差圧検出方式を採用した最先端プロセス向け高性能モデル

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SEC-Z700X Series

PI 性能を搭載した高性能モデル

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SEC-Z700S Series

精度、再現性、応答性能、パーティクルレスを備えた高性能モデル

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DZ-100

10mm幅の最先端プロセス向け高性能モデル

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SEC/SEF-Z500X Series

ガス種・流量レンジの変更ができる機能を搭載したモデル

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SEC/SEF-N100 Series

ワイドな流量制御範囲、選べる通信方式を持つ汎用モデル

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SEC/SEF-8000F/D/E Series

高温環境（120℃）までの環境で使用できる高温対応モデル

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SEC/SEF-E Series

サーマルセンサ、ソレノイドバルブを搭載した高精度なモデル

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S48/S48M Series

生産設備から各種実験・評価システムに最適なエコノミーモデル

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MF-C Series

MEMS技術を用いた小型流量センサを採用したコンパクトモデル

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MF-F2 Series

MEMS技術を用いた小型流量センサを採用したコンパクトモデル

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課題:
流量制御の精度を上げたい(±1%S.P以上)微少流量でも安定して制御したい(F.S.=2 SCCM以下)脈動の影響を減らしたい応答速度を速くしたい(0.5秒以下)ガス種、フルスケール流量を自分で変更したい高温環境で使いたい(80℃以上)省スペースにしたいコストを抑えて導入したい(~20万)故障を予知できるようにしたいガスの分配比率を制御したい腐食性ガスを使用したい混合ガスを使用したいPCやPLCを使って動かしたい(デジタル制御)表示部・設定部一体型を使用したい
リセット

D700MG

100msecの高速応答と低流量での高精度を実現した高性能モデル

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D500

差圧検出方式を採用した最先端プロセス向け高性能モデル

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SEC-Z700X Series

PI 性能を搭載した高性能モデル

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SEC-Z700S Series

精度、再現性、応答性能、パーティクルレスを備えた高性能モデル

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SEC/SEF-Z500X Series

ガス種・流量レンジの変更ができる機能を搭載したモデル

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SEC/SEF-N100 Series

ワイドな流量制御範囲、選べる通信方式を持つ汎用モデル

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SEC/SEF-8000F/D/E Series

高温環境（120℃）までの環境で使用できる高温対応モデル

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DZ-100

10mm幅の最先端プロセス向け高性能モデル

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FS-3000 Series

プロセスガスを任意の比率に分配するフロースプリッタ

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SEC/SEF-E Series

サーマルセンサ、ソレノイドバルブを搭載した高精度なモデル

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S48/S48M Series

生産設備から各種実験・評価システムに最適なエコノミーモデル

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MF-C Series

MEMS技術を用いた小型流量センサを採用したコンパクトモデル

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MF-F2 Series

MEMS技術を用いた小型流量センサを採用したコンパクトモデル

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