無機排水処理設備

半導体生産工程から排出される無機排水にはフッ酸などの有害物質も多く含まれます。それらはpHコントロールや凝集沈殿などの工程を経て無害化され環境中に放流されます。適切な処理を行うためには正確に測定できるだけではなく、フッ酸などによるダメージに強い耐久性を持ち、スケール汚れの付着にも対応した水質計が欠かせません。近年では処理を行うために必要な薬品を削減するためにも水質計は欠かせないものとなっています。

半導体工場の無機排水処理の中でも近年重要性を増しているフッ酸処理。この工程では、予備的に多めのカルシウム系薬品を固定注入しているため、必要以上の薬品を使用している可能性があります。HORIBAは排水の処理状況に応じて薬品注入量を最適化する水質計を提供し、ランニングコストや環境負荷の低減をご提案します。