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半導体産業ではデバイスの製造に多くの液体/気体の化学物質を使用します。このような化学物質は環境保護や大気汚染防止の観点から特定の処理が必要です。HORIBAの分析機器は排ガス、廃液処理後の残存化学物質を計測することで社会に貢献しています。
クリーンルーム環境監視装置
半導体工場排ガス分析計
半導体工場排水計測装置
超純水計測装置
液体材料供給システム