半導体産業ではデバイスの製造に多くの液体/気体の化学物質を使用します。このような化学物質は環境保護や大気汚染防止の観点から特定の処理が必要です。HORIBAの分析機器は排ガス、廃液処理後の残存化学物質を計測することで社会に貢献しています。
空調設備
・AMCモニタリングシステム
液体供給
・液体自動供給システム
空中分子状汚染物質
・AMCモニタリングシステム
排水処理設備
・オンラインTOC計
・現場形フッ化物イオン計
・現場形カルシウムイオン計
・工業用無補充式セルフクリーニングpH電極
・コンパクト型水質計
