設備 / サブファブ関連

半導体製造におけるファシリティは、クリーンルームや先端製造装置を安定稼働させるため重要な設備です。プロセス材料や超純水の供給、空調などのインフラに加え、現在は省エネや再生可能エネルギーの活用も進み、グリーンで持続可能な運用が求められています。 HORIBAは「はかる」技術を通じて、半導体工場の安定稼働とプロセスの最適化だけでなく、環境負荷の低減に貢献しています。