MFT-20

Mass Flow Checker MFT-20

マスフローチェッカ

マスフローコントローラに不具合が生じている場合は、その原因追求の為にMFCのシステムを構成しているSEC・電源・表示器・設定器・ケーブル等の異常やSEC自身の不具合原因を発見しなければなりません。MFT-20では、SECを駆動、入出力している電圧をモニタしたり、MFT-20により制御する事でSECが正常であるかをチェックする事ができます。従ってSECを装置配管から取り外す前にすみやかにSECのトラブルや電源等のトラブルが確認できます。また、本体に内蔵しているポテンションメータによりSECを制御する事も可能です。

 

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Fluid Control
製造会社: HORIBA STEC, Co., Ltd.
  • 配管を外す事無く簡単にチェックが可能
  • 電源不要(既存の信号ケーブルの電源を使用)
  • バルブ全開/全閉可能
  • オートゼロ機能の使用が可能(オートゼロ機能を装備しているSECのみ)

 

 

 

外形寸法図・他(単位:mm)

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