Gas Mass Flow Control and Measurement in Research and Testing Laboratories
MF-C シリーズ体系
■適応流体・流量制御範囲
■入出力仕様
■空気、窒素、アルゴン、酸素、都市ガス、メタン、プロパン、
炭酸ガス用 MF-Cシリーズ 仕様
■圧力
標準差圧、動作差圧 ※5、6
（標準モデル）
（低差圧モデル）
表示、積算機能（低差圧モデル）
※1：本製品内部の弁は漏れがゼロを必要とするストップ弁としては使用できません。仕様上ある程度の漏れを許容しています。
※2：20℃ 1気圧（101kPa）での体積流量に換算。又、フルスケールとは流量レンジの最大流量を指します。
※3：塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない乾燥気体で、かつダストおよびオイルミストを含まない清浄気体をご使用ください。圧縮空気をご使用の場合は、JIS B 8392-1：2003 等級1.1.1〜1.6.2の清浄空気をご使用ください。コンプレッサからの圧縮空気には、ドレン（水、酸化オイル、異物等）が含まれます。本製品の機能を維持するために、本製品の一次側（上流）にフィルタ、エアドライヤ（最低圧力露点10°C以下）及びオイルミストフィルタ（最大油分濃度0.1mg/m3）を取付けてご使用ください。
※4：都市ガス13AはLNGから生成されたメタン（CH4）88％ガスに対しての値です。
※5：標準差圧は、本製品校正時の差圧です。（2次側大気開放）
※6：動作差圧は、本製品が正常に動作するために必要な差圧です。流量レンジ、適応流体によって異なりますのでご注意ください。又、動作差圧の最小値は、2次側大気開放においてフルスケール流量を流すのに必要な差圧です。
※7：アナログ出力電圧の出力インピーダンスは約1KΩです。接続負荷のインピーダンスが低い場合、出力値と誤差が大きくなります。接続負荷のインピーダンスでの誤差を確認の上、ご使用ください。
※8：DC24V時、負荷未接続、フルスケール流量時の電流です。負荷の状態によっては消費電流が変わりますのでご注意ください。
※9：本製品の保護回路は特定の誤接続、負荷の短絡に対してのみ効果があり、あらゆる誤接続から保護できるわけではありません。
※10：都市ガスの低圧ライン（1〜2.5kPa）では動作差圧範囲外となります。
※11：積算流量は計算（参考）値です。また、電源を切るとリセットされます。
※12：AIのみ対応しています。
■水素、ヘリウム用 MF-Cシリーズ 仕様
■圧力
標準差圧、動作差圧 ※4、5
表示、積算機能
※1：本製品内部の弁は漏れがゼロを必要とするストップ弁としては使用できません。仕様上ある程度の漏れを許容しています。
※2：20℃ 1気圧（101kPa）での体積流量に換算。又、フルスケールとは流量レンジの最大流量を示します。
※3：塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない乾燥気体で、かつダストおよびオイルミストを含まない清浄気体をご使用ください。
※4：標準差圧は、本製品校正時の差圧です。（2次側大気開放）
※5：動作差圧は、本製品が正常に動作するために必要な差圧です。流量レンジ、適応流体によって異なりますのでご注意ください。又、動作差圧の最小値は、2次側大気開放において、フルスケール流量を流すのに必要な差圧です。
※6：アナログ出力電圧の出力インピーダンスは約1KΩです。接続負荷のインピーダンスが低い場合、出力値と誤差が大きくなります。接続負荷のインピーダンスでの誤差を確認の上、ご使用ください。
※7：DC24V時、負荷未接続、フルスケール流量時の流量です。負荷の状態によっては、消費電流が変わりますのでご注意ください。
※8：本製品の保護回路は特定の誤接続、負荷の短絡に対してのみ効果があり、あらゆる誤接続から保護できるわけではありません。
※9：積算流量は計算（参考）値です。また、電源を切るとリセットされます。
■空気、窒素、アルゴン、酸素、都市ガス、メタン、プロパン、
炭酸ガス用 型番表示方法
■水素、ヘリウム用 型番表示方法
■外形寸法図
ボディ材質：ステンレス、接続口径：ボディ材質：樹脂、接続口径：ワンタッチφ6、φ8
ボディ材質：ステンレス、接続口径：Rc1/4
接続口径：1/4インチ 2重くい込み継手
専用ブラケット（床面据付タイプ）
単品型番：MF-C-B
ケーブルオプション外形寸法図
●アナログ入力タイプ用9芯ケーブル
オプション単品型番：MF-C-1M、3M
■配線方法
内部回路および負荷接続例
■MF-C 本体コネクタ
コネクタ：Dsub15ピンミニ（オス）
■コネクタピン配置（製品本体側）
［アナログ入力タイプ］
アナログ入力タイプには、(4)、(6)、(7)、(8)、(9)、(12)はピンがありません。
