CRITERION DZ-100 Series

超薄型マスフローモジュール

差圧検出方式を採用した10mm幅の最先端プロセス向け高性能マスフローモジュールです。±0.5% S.P. の高精度と応答速度0.4秒以内を実現しています。

新製品のDZ-107 Series（EtherCAT®通信モデル）では10mm幅の薄さを維持しつつ、フルスケール流量の最大化（20SLM）、およびガスデータの内部搭載による柔軟な運用性を実現しました。

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Fluid Control
製造会社: HORIBA STEC, Co., Ltd.
  • 高速応答
    応答速度：0.4秒以内
  • 軽量化・コンパクト
    幅10mm、高さ99mm（DZ-114S）
  • 高精度
    ±0.5% S.P.を実現
  • 集積化対応
  • 通信方式
    DeviceNet™通信モデル
    EtherCAT®通信モデル
  • 一次側供給圧力範囲の拡大
    110～900kPa（DZ-114S）
  • マルチガス・マルチレンジ・マルチプレッシャー機能
    ユーザーサイドで「ガス種」「フルスケール流量」「供給圧力レンジ」
    の変更が可能。予備品低減など、コスト削減に貢献します。

 

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DZ-100 仕様一覧
 

外形寸法図（単位：mm）

DZ-100 外形寸法図

Size: 2.07 MB
〈カタログ〉CRITERION DZ-100 Series

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