FS-3000 Series

サーマルフロースプリッタ

半導体、ディスプレイ、太陽電池などの製造プロセスにて、チャンバに導入するプロセスガスを、任意の比率に分配するフロースプリッタです。

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Fluid Control
  • 拡張性/メンテナンス性の向上
    マスターコントローラとマスフローコントローラで構成されており、最大15分岐まで拡張が可能です。
    マスフローコントローラ単体の交換ができるため、メンテナンス、仕様変更、修理が容易です。
     
  • 幅広い流量レンジに対応
    マスフローコントローラの組み合わせにより、低差圧から大流量まで幅広い流量レンジに対応しています。
     
  • 面内均一性によるウェハの品質向上
    同じ濃度のガスをフロースプリッタで分岐することにより、ウェハの面内均一性を向上させることができ、品質向上に貢献します。

 


型式・仕様選定表

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