Process Control and In-situ Measurement for Photovoltaic Manufacturing Process
| 名称 | マスフローメータ | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 型式 | LF- F20M-A | LF- F30M-A | LF- F40M-A | LF- F50M-A | LF- F60M-A |
| フルスケール流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 |
| 測定制御範囲 | 5〜100% F.S. | ||||
| 対象液種 *1 | HCl.HF等のステンレスを腐蝕する液体を除く | ||||
| 液体粘度 *2 | Max. 0.1 Pa·s (100cp) | ||||
| 精度 *3 | ±1% F.S. | ||||
| 直線性 *3 | ±0.5% F.S. | ||||
| 繰返性 *3 | ±0.5% F.S. | ||||
| 応答精度 | 3秒以内 (T98) | 2秒以内 (T98) | |||
| 使用可能周囲温度 *4 | 5〜50℃ (推奨温度15℃〜45℃) | ||||
| 温度影響 スパン | ±0.1%F.S./℃ Max±1% | ||||
| 動作差圧 *5 | Max. 5MPa (マスフローメータ単体の場合) 0.05〜0.3MPa (ピエゾバルブ制御の場合) | ||||
| 耐圧 | 10MPa (as flow meter) | ||||
| 圧力損失 *6 | Max. 500Pa | ||||
| 流量設定信号 | アナログ：0.25〜5 VDC (入力インピーダンス1MΩ以上) デジタル：RS485 (F-Netプロトコール) | ||||
| 流量出力信号 | アナログ：0〜5 VDC (最小負荷抵抗2kΩ) デジタル：RS485 (F-Netプロトコール) | ||||
| 駆動電源 | +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA | ||||
| 外部リーク規格 | 5×10-12Pa·m3/s (He) | ||||
| 接液部材質 | SUS316L, Ni | ||||
| 標準継手 | 1/16 , 1/8 スウエージロックタイプ, 1/8 VCR タイプ | 1/8 スウエージロックタイプ, 1/8 VCR タイプ | 1/4 スウエージロックタイプ, 1/4 VCR タイプ | ||
| 名称 | マスフローコントローラ | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 型式 | LV-F20 (PO/MO) | LV-F30 (PO/MO) | LV-F40 (PO/MO) | LV-F50 (PO/MO) | LV-F60 (PO/MO) |
| フルスケール流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 |
| 測定制御範囲 | 5〜100% F.S. | ||||
| 対象液種 *1 | HCl.HF等のステンレスを腐蝕する液体を除く | ||||
| 液体粘度 *2 | Max. 0.01 Pa·s (10cp) | ||||
| 精度 *3 | ±1% F.S. | ||||
| 直線性 *3 | ±0.5% F.S. | ||||
| 繰返性 *3 | ±0.5% F.S. | ||||
| 応答精度 | 3秒以内 (T98) | 2秒以内 (T98) | |||
| 使用可能周囲温度 *4 | 5〜50℃ (推奨温度15℃〜45℃) | ||||
| 温度影響 スパン | ±0.1%F.S./℃ Max±1% | ||||
| 動作差圧 *5 | 0.05〜0.3MPa | ||||
| 耐圧 | 1MPa | ||||
| 圧力損失 *6 | Max. 30kPa | ||||
| 流量設定信号 | アナログ：0.25〜5 VDC (入力インピーダンス1MΩ以上) デジタル：RS485 (F-Netプロトコール) | ||||
| 流量出力信号 | アナログ：0〜5 VDC (最小負荷抵抗2kΩ) デジタル：RS485 (F-Netプロトコール) | ||||
| 駆動電源 | +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA | ||||
| 外部リーク規格 | PO : 1×10-8Pa·m3/s (He) MO : 5×10-12Pa·m3/s (He) | ||||
| 接液部材質 | PO : SUS316L, Ni, PTFE, PFA MO : SUS316L,Ni | ||||
| 標準継手 | 1/16 , 1/8 スウエージロックタイプ, 1/8 VCR タイプ | 1/8 スウエージロックタイプ, 1/8 VCR タイプ | 1/4 スウエージロックタイプ, 1/4 VCR タイプ | ||
*1：LF-F/LV-F Seriesは、1種類の液体で流量校正されています(使用液体をあらかじめご指定ください。)
・固体物を含んだ液体は測定できません。
・混合液で混合比が変化する場合はあらかじめご相談ください。
・LV-F Seriesは、対象液体に粒子等含まれる場合、0.2μm(Abs.)以下のフィルターを一次側(入口側)に取り付けてください
*2：LF-Fタイプでは流量レンジにより max, 0.1Pa·sまで対応可能です。粘度の高い液体についてはあらかじめご相談ください。
*3：SEMI E56-1296 準拠
*4：計測・制御を行う液体温度が、周囲温度より低い場合はその差を10℃以内、また液体温度が高い場合は3℃以内でのご使用をお願いします。
*5：粘度0.001Pa・sにおけるF.S.流量値での値です。
*6：粘度0.001Pa・sの液体をフルスケール流量で流した時の最大圧力損失です。
