LG-100 Series

• エッチングプロセスの排ガス成分を高感度・高速に測定

• 測定対象ガスの分圧指示値の変化からエンドポイントを検出可能

• 非プラズマプロセスでも適用可能

• 独自の赤外ガス分析技術「IRLAM」の搭載により、高感度かつ高速なリアルタイム測定を実現

エッチングによって発生するSiF4の分圧変化をリアルタイムに測定します。このSiF4の変化量からエンドポイントの判別が可能となりました。IRLAMの搭載により、発生する微量なガスをダイレクトに測定し、ppbレベルの微量なガスを0.1秒という高速で測定することが実現されました。これにより、アンダーエッチング・オーバーエッチングのリスクを軽減し、歩留まり向上に寄与します。

IRLAM技術の詳細はこちら
*IRLAM（アーラム）は、株式会社堀場製作所の登録商標または商標です
 

• 機能向上に向けた開発と最先端プロセスへの対応

エッチングによって生成される排ガス成分の測定により、エッチングプロセス中の現象を確認できます。本製品は、進化を続ける半導体製造プロセスに貢献するため、測定ガス対象の多成分化や、応答速度の向上など、機能拡張にも継続して取り組んでいます。最先端のロジック半導体では、GAAトランジスタ構造や、高アスペクト比のコンタクトホールの形成におけるプロセス制御を実現するために、より高度なセンシング技術が必要とされています。本製品の投入を通じて、こうした最先端半導体製造プロセスにおける生産性の向上に貢献します。