オートリフィルシステム
液体材料をベーキングシステム(LSC シリーズ)、インジェクションシステム(MI、MV、VCシリーズ)へ“自動的に”“安全に”“無駄無く”供給可能な液体材料の自動供給システムです。
オペレートミス対策として危険が伴うタンク交換時の残液除去シーケンスの自動化も標準搭載しています。またメンテナンス性の高効率化を行いスループット向上のご提案を行えるモデルです。
高効率ラインパージ性能
～タンク交換時間を短縮～
マザータンク交換時の配管内部（タンクバルブ～ラインバルブ）に残留する液体材料をマザータンクへと送り返します。そして配管内に微量に残留している液体材料を効率良く、確実に取り除くためにシンプルなガス系を採用しパージ効率を向上させると共に、残液の蒸気圧を確認する機能：材料残留モニタを標準搭載しています。
蒸気圧監視モニタ機能とは
配管内に残留している液体材料の除去にはサイクルパージを施し除去されますが、液体材料の残留濃度が「TLV値」を下回った状態であるか否かの判断は、従来経験的に蓄積された、お客様のノウハウとして判断されていました。LU-A1000シリーズに搭載している「材料残留モニタ機能」は、配管内に残留する液体材料や残留ガスの状態を高性能な蒸気圧モニタで、配管内の状態を監視します。本体に搭載している安全監視回路により、タンク交換のタイミングを表示させ、最適時間をオペレータへお知らせすると共に安全性を向上させる機能です。
フローシート
プロセスに応じた液体材料気化システム（インジェクション方式、ベーキング方式）へ、液体材料マザータンクから安全に迅速に液体材料を自動供給する総合的なシステムをご提供しています。
液体材料を“安全に”“無駄無く”“迅速に”気化システムへ自動に供給
| LU-A1000 series | |
|---|---|
| 対応液種 | TEOS、TMOB、TMOP、TEOP、BTBAS |
| 供給方式 | Heガスによる圧送 |
| ガス供給圧力 | 圧送用 0.3〜0.6MPa（G）、パージ用 0.3〜0.6MPa（G）、OP.N2 0.6〜0.7MPa（G） |
| タンク | 最大5ガロン（18.9L）容器まで搭載可能（製作範囲外） |
| 動作 | 供給/停止は被供給系よりの外部信号による全自動 |
| 操作部表示内容 | ●圧力異常表示 ●アラーム時、表示ホールド機能(手動リセット) ●液レベル表示 ●シーケンス等 |
| ガス取合 | 基本フロー参照 |
| 電源 | AC 100〜240V 50/60Hz 300VA |
| 電気取合 | ●AC 100〜240V ブレーカ取合 ●SIGNAL レセプタクル |
| 外形寸法 | 外形寸法図参照 |
